[发明专利]像差校正器以及电子显微镜

权利要求书

1.一种电子显微镜，具备：

电子源；

像差校正器，校正从电子源释放的电子射线的像差；以及

电子光学系统，用于将所述电子射线照射到试样，

所述电子显微镜的特征在于，

所述像差校正器具备：

开口，使所述电子射线经过中心轴；

第一电流线群，具有多个包含第一主线的第一电流线，所述第一主线在从所述中心轴起以第一半径相隔的位置处与光轴平行地配置，激励第一多极场；以及

第二电流线群，具有多个包含第二主线的第二电流线，所述第二主线在从所述中心轴起以长度比所述第一半径大的第二半径相隔的位置处与光轴平行地配置，独立地激励阶数及强度与所述第一多极场不同的第二多极场，

所述第一电流线以及与该第一电流线对应的所述第二电流线的返回线在从所述中心轴起以第三半径相隔的位置处与光轴平行地配置，

所述第三半径是比所述第二半径大的半径，并且是防止所述第一电流线以及与该第一电流线对应的所述第二电流线的返回线发生的多极场减弱所述第一多极场以及所述第二多极场的强度的大小的半径。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述第一电流线群的线数为12以上。

3.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述第一多极场的阶数比所述第二多极场高。

4.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

构成所述第二电流线群的电流线的每1极的线宽大于构成所述第一电流线群的电流线的每1极的线宽。

5.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

在所述第一多极场是6极场以上的多极场、并且所述第二多极场和所述第一多极场在从轴起的距离相同的条件下激励的情况下，第一多极场的电流量大。

6.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，具备：

电源；

切换器，变更从该电源起的电流路径；以及

控制部，

所述控制部根据加速电压或者光学倍率或者动作距离，以在所述第一电流线群和第二电流线群之间切换由所述电源驱动的电流线群的方式控制所述切换器。

7.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

具备在以长度与所述第一半径不同的第四半径相隔的位置处与光轴平行地配置的第三电流线群，所述第四半径小于所述第三半径并且大于所述第二半径，所述第三电流线群激励第三多极场。

8.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述第一电流线群的线数以及所述第二电流线群的线数分别是4的倍数或6的倍数，或者激励4N极场或6M极场，其中N、M为自然数。

9.一种像差校正器，其特征在于，具备：

开口，使电子射线经过中心轴；

第一电流线群，具有多个包含第一主线的第一电流线，所述第一主线在从所述中心轴起以第一半径相隔的位置处与光轴平行地配置，激励第一多极场；以及

第二电流线群，具有多个包含第二主线的第二电流线，所述第二主线在从所述中心轴起以长度比所述第一半径大的第二半径相隔的位置处与光轴平行地配置，独立地激励阶数及强度与所述第一多极场不同的第二多极场，

所述第一电流线以及与该第一电流线对应的所述第二电流线的返回线在从所述中心轴起以第三半径相隔的位置处与光轴平行地配置，

所述第三半径是比所述第二半径大的半径，并且是防止所述第一电流线以及与该第一电流线对应的所述第二电流线的返回线发生的多极场减弱所述第一多极场以及所述第二多极场的强度的大小的半径。

10.根据权利要求9所述的像差校正器，其特征在于，

由配置于比所述第二半径小的所述第一半径上的所述第一电流线群激励的所述第一多极场的阶数高于所述第二多极场。

11.根据权利要求9所述的像差校正器，其特征在于，

构成配置于比所述第一半径大的所述第二半径上的所述第二电流线群的电流线的每1极的线宽大于构成所述第一电流线群的电流线的每1极的线宽。