[其他]ESD保护装置

说明书

提供能够抑制辅助电极的劣化，并且能够提高低电压动作性的ESD保护装置及其制造方法。本实用新型的ESD保护装置具有：形成于绝缘性陶瓷坯体的内部的空洞部、形成为局部隔着该空洞部相互对置的第一放电电极以及第二放电电极、以及形成为至少局部向上述空洞部露出并且与上述第一放电电极以及上述第二放电电极电连接的辅助电极，在上述第一放电电极以及上述第二放电电极的至少一者、上述辅助电极、上述绝缘性陶瓷坯体三者的边界区域的至少局部设置与上述空洞部分离的空隙部。

技术领域

本实用新型涉及ESD保护装置及其制造方法。

背景技术

ESD(Electro-Static Discharge：静电放电)是指带电的导电性的物体(人体等)与其他的导电性的物体(电子设备等)接触，或者充分接近时，产生激烈的放电的现象。因ESD而产生电子设备的损伤、误动作等问题。为了防止该情况的产生，所使用的部件为ESD保护装置，发挥不使放电时产生的过大的电压施加于电子设备的电路的作用。

例如，在专利文献1中记载了具备在内部具有空洞部的绝缘性基板、第一放电电极以及第二放电电极、形成于空洞部的内周面的至少局部并与第一放电电极以及第二放电电极电连接的辅助电极的ESD 保护装置。

专利文献1：日本特开2010－129320号公报

空洞部内的放电主要沿着空洞部的内周面产生(称为沿面放电)，但专利文献1所记载的ESD保护装置在空洞部的内周面的至少局部设置辅助电极，从而容易产生沿面放电，而提高ESD特性的稳定性。

然而，本实用新型的发明人们发现了为了提高低电压动作性，若欲使放电间隙狭小化，则辅助电极容易劣化。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的在于提供一种能够抑制辅助电极的劣化，并且能够提高低电压动作性的ESD保护装置及其制造方法。

为了解决上述课题，本实用新型的发明人们钻心研究的结果，发现在绝缘性基板、放电电极、辅助电极三者连接的三联点集中电场，而且在绝缘性基板、放电电极、辅助电极三者的边界区域设置空隙，从而能够缓和该三联点的电场，从而完成了本实用新型。即，本实用新型的ESD保护装置具有：形成于绝缘性陶瓷坯体的内部的空洞部、形成为局部隔着该空洞部相互对置的第一放电电极以及第二放电电极、形成为至少局部向上述空洞部露出并且与上述第一放电电极以及上述第二放电电极电连接的辅助电极，在上述第一放电电极以及上述第二放电电极的至少一者与上述辅助电极、上述绝缘性陶瓷坯体三者的边界区域的至少局部设置有与上述空洞部分离的空隙部。

根据本实用新型的ESD保护装置，在第一放电电极以及第二放电电极的至少一者、辅助电极、绝缘性陶瓷坯体三者的边界区域的至少局部设置有与空洞部分离的空隙部，从而能够缓和第一放电电极以及第二放电电极的至少一者、辅助电极、绝缘性陶瓷坯体三者连接的三联点(以下，称为内部三联点)处的电场集中，进而促进第一放电电极以及第二放电电极的至少一者、空洞部、辅助电极三者连接的三联点(以下，称为沿面三联点)处的电场集中。由此，放电开始电压降低，而使低电压动作性提高。另外，设置空隙部，从而能够抑制在辅助电极的内部流经的放电(以下，称为内部放电)，因此能够抑制辅助电极的劣化。

另外，在本实用新型的一方式中，上述第一放电电极的除了端面之外的主表面与上述第二放电电极的除了端面之外的主表面位于不同的平面上。

根据上述的方式，第一放电电极的除了端面的主表面与第二放电电极的除了端面的主表面位于不同的平面上，因此能够准确地控制空洞部的厚度。

另外，在本实用新型的一方式中，上述第一放电电极配置为具有第一导通孔导体，该第一导通孔导体向上述空洞部露出。