[其他]ESD保护装置

权利要求书

1.一种ESD保护装置，具备：

多层基板，该多层基板层叠有多个绝缘层；

第一放电电极以及第二放电电极，所述第一放电电极以及第二放电电极分别配置在所述多层基板的不同层间，分别在前端附近具有放电部；

贯通孔，该贯通孔在至少一个所述绝缘层的表背主面间贯通而形成；以及

放电辅助电极，该放电辅助电极填充于所述贯通孔，

所述第一放电电极的所述放电部与所述第二放电电极的所述放电部彼此之间夹着所述放电辅助电极而在所述绝缘层的层叠方向上对置配置，

在所述ESD保护装置中，

在所述多层基板内部的、所述第一放电电极的所述放电部的与所述放电辅助电极相反侧的部分、以及所述第二放电电极的所述放电部的与所述放电辅助电极相反侧的部分的至少一方形成有空洞。

2.根据权利要求1所述的ESD保护装置，其特征在于，

在沿着所述绝缘层的层叠方向透视所述多层基板的情况下，所述放电辅助电极与所述第一放电电极的所述放电部以及/或者所述第二放电电极的所述放电部局部重叠，

在所述放电辅助电极未与所述放电部重叠的部分，所述放电辅助电极与所述空洞直接接触。

3.根据权利要求1所述的ESD保护装置，其特征在于，

在所述多层基板内部的、所述第一放电电极的所述放电部的与所述放电辅助电极相反侧的部分、以及所述第二放电电极的所述放电部的与所述放电辅助电极相反侧的部分双方形成有空洞。

4.根据权利要求2所述的ESD保护装置，其特征在于，

在所述多层基板内部的、所述第一放电电极的所述放电部的与所述放电辅助电极相反侧的部分、以及所述第二放电电极的所述放电部的与所述放电辅助电极相反侧的部分双方形成有空洞。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的ESD保护装置，其特征在于，

在沿着所述绝缘层的层叠方向透视所述多层基板的情况下，所述空洞与所述放电辅助电极为相同形状、相同大小且重叠。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的ESD保护装置，其特征在于，

在沿着所述绝缘层的层叠方向透视所述多层基板的情况下，所述空洞的大小大于所述放电辅助电极的大小，所述空洞将所述放电辅助电极包围在内。

7.根据权利要求5所述的ESD保护装置，其特征在于，

在沿着所述绝缘层的层叠方向透视所述多层基板的情况下，所述空洞的大小大于所述放电辅助电极的大小，所述空洞将所述放电辅助电极包围在内。

8.根据权利要求1～4、7中任一项所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电辅助电极包括从导电性粒子、半导体粒子、被无机材料覆盖的导电性粒子、绝缘性粒子中选出的至少一个固体成分。

9.根据权利要求5所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电辅助电极包括从导电性粒子、半导体粒子、被无机材料覆盖的导电性粒子、绝缘性粒子中选出的至少一个固体成分。

10.根据权利要求6所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电辅助电极包括从导电性粒子、半导体粒子、被无机材料覆盖的导电性粒子、绝缘性粒子中选出的至少一个固体成分。