[发明专利]弹性装夹装置在审
| 申请号： | 201710000724.X | 申请日： | 2017-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN106835058A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 王胭脂;郭可升;陈宇;刘加;朱晔新;朱美萍;张伟丽;王建国;赵娇玲;孙建;齐红基;易葵;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，其特征在于包括基片夹具(1)、多个弹性固定块(3)、盖板(4)和螺栓(8)，所述的基片夹具(1)是一圆杯状空腔，该空腔的底中央是一镀膜孔(9)，在空腔的内壁具有均匀分布的三个以上弹簧孔(6)，腔壁的上端面具有一个以上螺孔(5)，所述的弹性固定块(3)由弹簧和固定块横向焊接构成，所述的固定块成方形，该固定块的下端面具有与待镀膜基片嵌设的吻合的缺口，所述的弹性固定块(3)通过弹簧置于所述的基片夹具(1)内壁弹簧孔(6)中，使所述的固定块的缺口朝下，所述的盖板(4)成圆形，周边具有与所述的基片夹具(1)的螺孔(5)相对应的螺孔(7)，所述的螺栓(8)旋入所述的盖板(4)的螺孔(7)和所述的基片夹具(1)的螺孔(5)，将所述的盖板(4)和所述的基片夹具(1)构成一体。
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