[发明专利]平面度检测治具及平面度检测方法

权利要求书

1.一种平面度检测治具，其特征在于，包括：

用于放置待检测件的水平承载台；

与所述水平承载台连接，能够升降所述水平承载台的升降机构；

设置于所述水平承载台的上方的探针放置板，所述探针放置板上放置有呈阵列排布的多个探针，每一探针包括用于与待检测件的待检测面接触的第一端和与所述第一端相对的第二端，所述多个探针能够在垂直于所述水平承载台的方向上移动，而具有第一状态和第二状态，其中，在所述第一状态，所述水平承载台处于第一位置，各探针的第一端与待检测件的待检测面不接触，且多个探针的第一端处于同一平面内；在所述第二状态，所述水平承载台上升至第二位置，各探针的第一端与所述待检测件的待检测面相接触并上升预设高度；

以及，用于当所述多个探针在所述第二状态时，检测各探针的当前位置是否在预设位置上的检测机构。

2.根据权利要求1所述的平面度检测治具，其特征在于，

所述检测机构包括：设置于所述多个探针的上方，并与处于所述第一状态时所述探针放置板上的探针的第二端之间具有预设距离的第一触发部，所述第一触发部能够在与探针的第二端接触时产生第一触发信号；其中所述预设距离大于所述预设高度。

3.根据权利要求2所述的平面度检测治具，其特征在于，

所述第一触发部包括：一能够与所述探针接触时产生第一电触发信号的电测板，且所述电测板的面向所述探针放置板的一面为平面度达到预设值的平面结构；或者，所述第一触发部包括：一能够与所述探针接触时产生光触发信号的探针触发光栅，且所述探针触发光栅的面向所述探针放置板的一面为平面度达到预设值的平面结构。

4.根据权利要求2所述的平面度检测治具，其特征在于，

所述平面度检测治具还包括用于调整所述预设距离的调整部件，所述调整部件包括设置在所述探针放置板与所述第一触发部之间的高度可调整的垫圈。

5.根据权利要求2所述的平面度检测治具，其特征在于，

所述第一触发部与所述探针放置板之间设置有用于使得所述第一触发部与所述探针放置板之间绝缘的绝缘部件。

6.根据权利要求1所述的平面度检测治具，其特征在于，

所述探针放置板上设有多个通孔，所述探针放置于所述通孔内；

所述探针的外周上在第一端和第二端之间设置有检测部；

所述检测机构包括：设置在所述通孔的内壁上的第二触发部，其中在所述第一状态时，所述第二触发部与探针的检测部的位置对应，并与所述检测部接触，而不发送触发信号；在所述第二状态时，所述第二触发部与探针的检测部接触时发送第二触发信号。

7.根据权利要求6所述的平面度检测治具，其特征在于，

所述通孔的内壁上形成有第一支撑台阶；

在所述探针上形成与所述第一支撑台阶相配合的第二支撑台阶；

其中，所述检测部包括所述探针的第二支撑台阶，所述第二触发部包括所述通孔的第一支撑台阶。

8.一种采用如权利要求1至7任一项所述的平面度检测治具进行平面度检测的方法，其特征在于，所述方法包括：

在处于第一位置处的水平承载台上放置待检测件；

上升所述水平承载台至第二位置上，以使得各探针的第一端与待检测件的待检测面相接触，并在所述待检测件的支撑下各探针上升预设高度；

检测各探针当前位置是否为预设位置，以判断待检测件的待检测面的平面度是否为预设值。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，应用于如权利要求2所述的平面度检测治具，所述预设值包括预设上变形量和预设下变形量，所述判断待检测件的待检测面的平面度是否为预设值包括：

当第一触发部发送第一触发信号时，判断待检测件的待检测面的上变形量超出预设上变形量，其中所述预设上变形量的数值等于所述预设距离与所述预设高度之差；

当第二触发部发送第二触发信号时，判断待检测件的待检测面的下变形量超出预设下变形量，其中所述预设下变形量的数值等于所述预设高度。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，还包括:

调整探针放置板与第一触发部之间的预设距离，以调整待检测件的待检测面的预设上变形量；控制探针上升的预设高度，以调整待检测件的待检测面的预设下变形量。