[发明专利]一种改进型靶材炉设备及靶材邦定方法

说明书

技术领域

本发明属于靶材邦定技术领域，特别涉及一种改进型靶材炉设备及靶材邦定方法。

背景技术

靶材的邦定设备是由加热带，加压螺杆组成，能够满足市场的需求，但是工艺比较粗糙，容易出现邦定孔隙，会给后续产品的使用带来风险。

另外，要求普通的靶材一般使用铟球焊接，来降低制造成本。但是，由于铟的熔点低，制造过程中如果温度控制过高，会使铟的液态承压顺缝隙流出。因此，如何通过温度和压力控制来解决烧结合格率低、后期使用风险高的问题是靶材邦定方法的核心技术。

发明内容

本发明的目的是克服以上现有技术的不足，提供一种操作简单、烧结合格率高的改进型靶材炉设备。本发明的另一目的是提供一种利用该靶材炉进行靶材邦定的方法。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：一种改进型靶材炉设备，其特征在于：炉体的一侧设置炉门，炉体内设置加热基台，加热基台内设有用于控温的加热装置和温度检测仪，加热基台上连接用于放置靶材的靶材基板，靶材基板的正上方设置有加压板，加压板的上端连接位于炉体外的手动加压阀，炉体内部与外置的真空泵连通。

所述加压板的长度与宽度分别不小于靶材基板的长度与宽度，加压板的材质为不锈钢、铝、聚四氟乙烯、铜中的一种或几种组合。

所述手动加压阀为两个，手动加压阀的下端分别连接于加压板的两端。

所述加热基台与靶材基板之间为螺栓连接

所述加热基台的工作温度为150～160℃。

所述真空泵的工作压强为0.5～100Pa。

一种利用改进型靶材炉设备进行靶材邦定方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

1)先在靶材基板上安装模具，并进行固定；

2)将铟球放置于模具内并均匀铺平；

3)将靶材放置于铟球上，并与模具贴紧，固定，确保加温加压的过程中不会产生位移；

4)利用手动加压阀下移加压板，确保加压板与靶材贴紧锁定，关闭炉门；

5)开启真空泵，设定设备的真空腔室工作压强；

6)设定压力值，使靶材基板与靶材之间的压强始终维持在一定值，开启升温功能，使加热基台升温至一定值；

7)待温度稳定达到一段时间后，关闭电源，卸除加压板的压力；

待温度下降到一定值后破除真空，打开炉门，取出焊接好的靶材进行检验。

所述步骤5)中真空腔的工作压强为0.5～100Pa。

所述步骤6)中靶材基板与靶材之间的压强始终维持在0.5～3MPa，加热基台(3)升温至150～160℃。

所述步骤7)中维持温度稳定的时间为0.3～0.6H，破除真空的临界温度为110～130℃。

本发明人工操作程序简单，靶材邦定效率提高；经过计算焊接的面积和铟球质量，可以确保铟料的利用率在98％以上；抽真空可以有效减少靶材和基板中间的空气和水蒸气，可以确保焊接的面积在97％以上；熟练工人靶材邦定的合格率达到100％。

附图说明

图1为一种改进型靶材炉设备的结构示意图。

图中：1、炉体，2、炉门，3、加热基台，4、靶材基板，5、靶材，6、加压板，7、真空泵，8、手动加压阀。

具体实施方式

以下结合附图对本发明做进一步说明，但发明并不限于具体实施例。

实施例1

如图1所示的一种改进型靶材炉设备，炉体1的一侧设置炉门2，炉体1内设置加热基台3，加热基台3内设有用于控温的加热装置和温度检测仪，加热基台3上螺栓连接用于放置靶材5的靶材基板4，靶材基板4的正上方设置有不锈钢材质的加压板6，加压板6的长度与宽度分别不小于靶材基板4的长度与宽度，加压板6的上端连接位于炉体1外的手动加压阀8，手动加压阀8为两个，手动加压阀8的下端分别连接于加压板6的两端，炉体1内部与外置的真空泵7连通。

实施例2

一种利用实施例1中所述的改进型靶材炉设备进行靶材邦定的方法：具体包括以下步骤：

1)先在靶材基板4上安装模具，并进行固定；

2)将铟球放置于模具内并均匀铺平；

3)将靶材5放置于铟球上，并与模具贴紧，固定，确保加温加压的过程中不会产生位移；

4)利用手动加压阀8下移加压板6，确保加压板6与靶材5贴紧锁定，关闭炉门2；

5)开启真空泵7，将设备的真空腔室抽至10Pa；