[发明专利]一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池缓冲层的制备系统及方法有效

专利信息
申请号: 201710004751.4 申请日: 2017-01-04
公开(公告)号: CN106684178B 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 任宇航;张龙飞;刘宽菲;罗明新 申请(专利权)人: 浙江尚越新能源开发有限公司
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032
代理公司: 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 代理人: 龙湖浩
地址: 311100 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 超声波喷嘴 加热子系统 清洗子系统 机械传动 原料输送 缓冲层 铜铟镓硒薄膜太阳能电池 反应溶液 制备系统 衬底 制备 原料输送装置 张力控制辊 冲洗装置 干燥装置 光电性能 厚度可控 化学物质 均匀喷洒 冷却装置 放卷辊 高纯度 加热块 收卷辊 冲淋 可控 托辊 加热 保证
【说明书】:
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