[发明专利]一种基于流延工艺环行器基板的制备方法

权利要求书

1.一种基于流延工艺环行器基板的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：

（1）主料配方：采用Y_3-xCa_xSn_xFe_5-xO₁₂，x=0.06；

（2）一次球磨：采用行星式球磨机，利用锆球，在241r/min的条件下

（3）预烧：在1000℃~1200℃条件下预烧，保温1~3小时；

（4）掺杂：加入以下添加剂：0.2wt%Bi₂O₃，0.10wt%BaTiO₃；

（5）二次球磨：粉料加入40~50wt%的有机粘合剂和40~50wt%的无水乙醇，球磨4~8小时；

（6）流延成型：将浆料通过流延得到厚度为100~120μm的生膜带；

（7）叠层：根据厚度需要，生膜带叠片为8~15层，在6MPa下压制成型；

（8）烧结：在空气氛围中与1360~1440℃下保温4小时。

2.如权利要求1所述的一种基于流延工艺环行器基板的制备方法，其特征在于，

步骤（1）中，铁氧体材料的主配方为Y_3-xCa_xSn_xFe_5-xO₁₂，x=0.06；

步骤（3）中，在1000℃~1200℃条件下预烧，保温1~3小时；

步骤（4）中，添加剂：0.2wt%Bi₂O₃，0.10wt%BaTiO₃；

步骤（8）中，在空气氛围中与1360~1440℃下保温4小时。