[发明专利]三轴角加速度计

权利要求书

1.角加速度检测设备，包括：

质量块，具有外边缘、内边缘和中心，所述外边缘界定出第一区域，所述内边缘位于在所述第一区域内并且界定出小于第一区域的第二区域，中心位于所述第二区域内；

所述质量块还包括多个梁，所述多个梁固定在所述质量块的内边缘上并且朝着所述质量块的中心延伸。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述质量块呈盘子形状。

3.根据权利要求1所述的设备，还包括基板，其中所述质量块通过比所述多个梁更接近所述质量块中心的至少一个锚而连接在所述基板上。

4.根据权利要求3所述的设备，还包括与所述基板连接并与所述多个梁中的第一梁邻接的电极，所述电极构造成产生检测信号以响应梁的运动。

5.根据权利要求4所述的设备，其中所述电极为第一电极，所述检测信号为第一检测信号，所述设备还包括与所述基板连接的第二电极，所述第二电极与所述第一梁邻接并与所述第一电极相反，并且所述第二电极构造成产生与第一检测信号相反的第二检测信号以响应所述第一梁的运动。

6.根据权利要求4所述的设备，其中所述电极为第一电极，所述检测信号为第一检测信号，所述运动为围绕第一轴的第一运动，所述设备还包括位于所述基板上的第二电极，所述第二电极构造成产生第二检测信号以响应所述质量块围绕与第一轴垂直的第二轴的第二运动。

7.根据权利要求6所述的设备，还包括位于所述基板上的第三电极，所述第三电极构造成产生第三检测信号以响应所述质量块围绕与第一轴和第二轴垂直的第三轴的第三运动。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述质量块内边缘的最接近所述至少一个锚的点与所述至少一个锚相距第一径向距离，所述第一径向距离小于所述第二电极与所述至少一个锚之间的第二径向距离，并且所述第一径向距离小于所述第三电极与所述至少一个锚之间的第三径向距离。

9.根据权利要求1所述的设备，固定在所述质量块内边缘上的多个梁朝着所述质量块的中心径向延伸。

10.根据权利要求1所述的设备，其中固定在所述质量块内边缘上的所述多个梁中的第一梁具有自由端。