[发明专利]测量仪及测量方法

权利要求书

1.一种测量仪，包括光发生模块、光信号接收模块和光路系统，其特征在于，还包括：控制模块和空间光调制模块；

所述光发生模块产生入射光束并将所述入射光束输入所述光路系统；

所述光路系统将所述入射光束传输至所述空间光调制模块和待测物体；

所述空间光调制器接收来自所述控制模块的第一调制信号，和所述入射光束，产生第一调制光束，并将所述第一调制光束输入所述光路系统；

所述光路系统接收所述第一调制光束和返回自所述待测物体的参考光束，并传输至所述光信号接收模块；

所述光信号接收模块接收所述第一调制光束和所述参考光束，生成测量数据并传输至所述控制模块；

所述控制模块根据所述测量数据，生成第二调制信号,并将所述第二调制信号作为新的第一调制信号，并再次接收所述测量数据；

其中，所述控制模块中还储存有至少一个吻合信号，所述控制模块将所述测量数据与所述吻合信号比较；

当所述测量数据与所述吻合信号不匹配时，产生第二调制光束并将所述第二调制信号作为新的第一调制信号，并再次接收所述测量数据；

当所述测量数据与所述吻合信号匹配时，所述控制模块不生成第二调制信号。

2.如权利要求1所述的测量仪，其特征在于：所述光路系统包括光学系统包含第一透镜子系统、第二透镜子系统和合路子系统；

其中合路子系统将所述入射光束传输至所述空间光调制模块和所述待测物体，并将第一调制光束和参考光束传输至所述光信号接收模块；

所述第一透镜子系统根据所述空间光调制器的尺寸匹配所述合路子系统传输至空间光调制模块的入射光束；

所述第二透镜子系统根据所述光信号接收模块的尺寸匹配所述第一调制光束和参考光束。

3.如权利要求1所述的测量仪，其特征在于：所述控制模块接收并处理所述测量数据，并根据所述处理后的测量数据计算出修正信息；

所述控制模块根据所述修正信息和所述第一调制信号产生第二调制信号。

4.如权利要求3所述的测量仪，其特征在于：所述控制模块对所述数据进行预处理，预处理包括对所述数据进行数学变换；

所述数学变换包括滤除所述数据中的特定频域信息。

5.如权利要求3所述的测量仪，其特征在于：所述控制模块中储存有多个预设数据模式，所述控制模块判断所述处理后的所述测量数据对应的预设数据模式；

根据所述预设数据模式生成所述处理后的所述测量数据对应的参数，并根据所述参数产生修正信息。

6.如权利要求1所述的测量仪，其特征在于：所述控制模块中还包括一个迭代次数存储器，和一个迭代上限，所述控制模块接收到所述测量数据时，将所述迭代次数与所述迭代上限比较，

当所述迭代次数小于所述迭代上限时，所述控制模块根据所述测量数据，生成第二调制信号，将所述第二调制信号作为新的第一调制信号，再次接收所述测量数据，并累加所述迭代次数存储器中储存的迭代次数；

当所述迭代次数等于所述迭代上限时所述控制模块不生成第二调制信号。

7.如权利要求1所述的测量仪，其特征在于：

测量具有已知理想参数的待测物体时，所述控制模块根据所述待测物体的理想参数产生第一调制信号；

测量未知形状的待测物体时，所述控制模块接收外部输入信息，并根据所述输入信息产生第一调制信号。

8.如权利要求1所述的测量仪，其特征在于：所述光路系统还包括调节系统，所述调节系统与所述控制模块连接，并根据所述控制模块发出的移动信号移动所述待测物体或移动光路系统。

9.如权利要求1所述的测量仪，其特征在于：所述控制模块根据一次或多次获得的测量数据进行运算后得出测量结果。