[发明专利]一种适用于透射式太赫兹波系统的自动对焦装置和方法

权利要求书

1.一种适用于透射式太赫兹波系统的自动对焦装置，其特征在于，太赫兹系统包括：太赫兹波源、第一透镜、第二透镜、第一探测器，所述太赫兹波源发出的太赫兹波被所述第一透镜和所述第二透镜准直、聚焦在样品面上，所述自动对焦装置包括第一移动装置和控制器，所述第一探测器用于检测所述样品面附近第一预设三维区域内的太赫兹波，所述控制器用于判别所述第一探测器探测到的太赫兹波的第一信号强度，并根据所述第一信号强度通过所述第一移动装置控制所述第一探测器进行移动。

2.根据权利要求1所述的自动对焦装置，其特征在于，所述太赫兹系统还包括第三透镜、第四透镜，所述自动对焦装置还包括第二移动装置，经过所述样品面的所述太赫兹波被所述第三透镜和所述第四透镜准直、聚焦在成像面上，所述太赫兹系统还包括用于将检测到的所述成像面附近第二预设三维区域内的太赫兹波发送给控制器的第二探测器，所述第二移动装置用于根据所述控制器判别所述第二探测器探测到的太赫兹波的第二信号强度来控制所述第二探测器进行移动。

3.根据权利要求2所述的自动对焦装置，其特征在于，所述第一移动装置和所述第二移动装置均包括三维电机。

4.一种适用于透射式太赫兹波系统的自动对焦方法，其特征在于，包括：

选取样品面附近的第一预设区域作为太赫兹波的第一扫描区域；

通过第一移动装置控制第一探测器进行移动，使所述第一探测器依次获取透射在所述第一扫描区域内各点的太赫兹波；

选取所述第一扫描区域内的太赫兹波的第一信号强度最大的点作为所述第一探测器扫描样品的焦点。

5.根据权利要求4所述的自动对焦方法，其特征在于，包括：

判断所述第一信号强度最大的点是否处于所述第一扫面区域的边界；

若否，则将所述第一信号强度最大的点作为所述第一探测器扫描样品的焦点；

若是，则扩大所述第一扫描区域。

6.根据权利要求5所述的自动对焦方法，其特征在于，在确定所述第一探测器扫描样品的扫描点之后，还包括：

选取成像面附近的第二预设区域作为太赫兹波的第二扫描区域；

通过第二移动装置控制第二探测器进行移动，使所述第二探测器依次获取透射在所述第二扫描区域内各点的太赫兹波；

选取所述第二扫描区域内的太赫兹波的第二信号强度最大的点，作为所述第二探测器扫描成像的焦点。

7.根据权利要求6所述的自动对焦方法，其特征在于，在确定所述第二探测器扫描成像的焦点之后，还包括：

判断所述第二信号强度最大的点是否处于所述第二扫面区域的边界；

若否，则将所述第二信号强度最大的点作为所述第二探测器扫描成像的焦点；

若是，则扩大所述第二扫描区域。