[发明专利]切割导轮及其开槽方法、开槽机、多线切割设备

说明书

本发明公开一种切割导轮及其开槽方法、开槽机、以及带有切割导轮的多线切割设备，该切割导轮的开槽方法包括：将各个切割导轮以间隔方式予以安装；对各个所述切割导轮进行开槽作业，使得在开槽作业中于各个所述切割导轮上所形成的导线槽之间的间距符合预设线距。本发明先将各个切割导轮安装下来，再对各个切割导轮进行现场开槽作业，排除了切割导轮安装过程会产生偏差的因素，只要控制好开槽机在开槽作业中移位的精度即可确保各个切割轮开槽形成的导线槽的间距能符合预设线距的要求。

技术领域

本发明涉及硅棒开方技术领域，特别是涉及一种切割导轮及其开槽方法、开槽机、以及带有切割导轮的多线切割设备。

背景技术

在制造各种半导体、光伏器件时，将包含硅、蓝宝石、陶瓷等硬脆材料的半导体晶锭切割加工为要求厚度尺寸的晶片。由于晶片切割是制约后续成品的重要工序，因而对其加工要求也越来越高。目前，多线切割技术由于具有生产效率高、加工成本低、加工精度高等特点，被广泛应用于产业的晶体切割生产中。

请参阅图1，一般，在多线切割设备上间隔设置有多个相互平行的切割导轮对，每一个切割导轮对均包括相对设置的(例如上下设置或左右设置或前后设置的)两个切割导轮70a、70b，而每一个切割导轮对的两个切割导轮70a、70b上均缠绕有切割线并形成切割线段80，由于切割导轮对为平行设置，因此，形成在多个切割导轮对中两个切割导轮之间的多条切割线段80相互平行，用于对工件90进行多线切割作业。

请参阅图2，为图1中切割导轮的截面示意图。结合图1和图2，切割导轮70是直接影响加工精度的重要零件，切割导轮70的上开设有数条相互平行的用于固定切割线80的导线槽71。在各条导线槽71内部均绷紧有能够随着切割导轮70高速运动的切割线80。现有技术中，切割导轮70的外周大多涂覆有聚氨酯材，它的好坏从很大程度上决定了工件的切割质量。为保证工件厚薄均匀特性，切割线需均匀地、稳定地分布在切割导轮上。而在聚氨酯切割导轮上开槽，可以保证其稳定性。

对于前述的切割导轮及带有该切割导轮的多线切割设备，业界通常的现有方式为：先对聚氨酯切割导轮进行开槽作业(例如：将切割导轮送至加工承揽企业由其在切割导轮上涂覆聚氨酯材料并进行开槽，或者，直接从加工承揽企业购得已开槽的聚氨酯切割导轮)以形成导线槽；将已开槽的各个聚氨酯切割导轮安装于切割设备的切割架上；将切割线依序缠绕于各个聚氨酯切割导轮中对应的导线槽内。

在上述技术中，可能存在的缺失在于：聚氨酯切割导轮是在开槽作业之后再分别安装于对应的切割架上的，虽然切割架的间距是预先设计并确定好的，但是，由于聚氨酯切割导轮在安装时由于人为因素及安装方式(例如：采用螺丝锁附且螺丝数量可能众多)等因素，一方面，聚氨酯切割导轮的垂直度(若是竖立设置)或水平度(若是水平设置)存在偏差，影响缠绕的切割线的垂直度或水平度，另一方面，相邻聚氨酯切割导轮中相应导线槽之间的间距等也可能与预先设计存在偏差，这样，缠绕于聚氨酯切割导轮上各段切割线段的间距会不相等。这些都会影响工件的切割质量，前者会影响切割面的工整度，后者会影响工件切割后的各个切块或各个切片的厚度均匀性。当然，开槽作业委托外部的加工承揽企业来完成，也增加了聚氨酯切割导轮中导线槽的质量风险。

发明内容

本发明的目的在于公开一种切割导轮及其开槽方法、开槽机、以及带有切割导轮的多线切割设备，用于解决现有技术中切割导轮存在的开槽精度及各个切割导轮中对应位置的导线槽之间的间距出现偏差等问题。

本发明在一方面公开一种切割导轮的开槽方法，包括：将各个切割导轮以间隔方式予以安装；利用开槽机对各个所述切割导轮进行至少一道开槽作业，使得各个所述切割导轮在同一道开槽作业中形成的导线槽相互间的间距符合预设线距。