[发明专利]蒸镀掩膜板、OLED基板及测量蒸镀像素偏位的方法有效
申请号: | 201710015069.5 | 申请日: | 2017-01-09 |
公开(公告)号: | CN106637074B | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
发明(设计)人: | 王徐亮;李伟丽;甘帅燕 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/00;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀掩膜板 oled 测量 像素 方法 | ||
本发明提供了一种蒸镀掩膜板、OLED基板及测量蒸镀像素偏位的方法,通过在OLED基板上设置标记;蒸镀掩膜板的掩膜片上设置有第一开口,所述第一开口用于蒸镀单色像素,蒸镀掩膜板的支撑掩膜上设置有第二开口,所述第二开口在所述掩膜片上的投影覆盖所述第一开口,所述第二开口在所述OLED基板上的投影覆盖所述OLED基板上的标记,由此通过所述蒸镀掩膜板执行蒸镀工艺时,蒸镀的单色像素将同时形成于所述标记上,由此通过测量蒸镀的单色像素与所述标记之间的偏移即可得到蒸镀像素的偏移情况。通过该方法获取蒸镀像素的偏移情况无需特别制作母玻璃板,从而降低了成本;此外,能够实际监控蒸镀过程中每块OLED基板对应像素的偏移情况,准确反应实时蒸镀效果。
技术领域
本发明涉及OLED显示器制造技术领域,特别涉及一种蒸镀掩膜板、OLED基板及测量蒸镀像素偏位的方法。
背景技术
OLED,即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),又称为有机电致发光显示(Organic Electroluminesence Display)。OLED显示技术与传统的LCD显示方式不同,无需背光灯,采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基层,当有电流通过时,这些有机材料就会发光。而且OLED显示器可以做得更轻更薄,可视角度更大,并且能够显著节省电能。OLED显示器由M*N(M和N均为自然数)个发光像素单元按照矩阵结构排列组合而成,对于彩色OLED显示器每个发光像素又包括红色像素(R)、绿色像素(G)和蓝色像素(B)。OLED显示器根据驱动方式分为主动式驱动(有源驱动)OLED(AMOLED)和被动式驱动(无源驱动)OLED(PMOLED)。
在制造OLED显示器的过程中,需要通过蒸镀掩膜板对红色像素、绿色像素和蓝色像素分别进行蒸镀。为了检验蒸镀效果、判断一些不良产生的原因,需要测量蒸镀像素的偏移情况。目前常用的测量蒸镀像素偏移情况的方法是:制作母玻璃板,在所述母玻璃板上蒸镀单色像素,通过蒸镀后的母玻璃板来判断蒸镀掩膜板对位后的像素偏移情况(也即测量蒸镀像素的偏移情况)。
这种方法需要单独制作母玻璃板,增加了人力、物力和时间成本;此外,无法实际监控蒸镀过程中每块OLED基板对应像素的偏移情况,不能准确反应实时蒸镀效果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种蒸镀掩膜板、OLED基板及测量蒸镀像素偏位的方法,以解决现有技术中测量蒸镀像素的偏移情况的成本较高并且不能准确反应实时蒸镀效果的问题。
为解决上述技术问题,本发明提供一种蒸镀掩膜板,用以在OLED基板上蒸镀单色像素,所述蒸镀掩膜板包括:框架、固定于所述框架上的掩膜片及固定于所述框架上的支撑掩膜;其中,所述掩膜片包括有源区和过渡区,所述过渡区上设置有第一开口,所述第一开口用于蒸镀单色像素;所述支撑掩膜上设置有第二开口,所述第二开口在所述掩膜片上的投影覆盖所述第一开口,所述第二开口在所述OLED基板上的投影覆盖所述OLED基板上的标记。
可选的,在所述的蒸镀掩膜板中,所述支撑掩膜的固定区设置有标识,所述标识用以标示蒸镀颜色。
可选的,在所述的蒸镀掩膜板中,所述支撑掩膜的两端固定区均设置有标识。
可选的,在所述的蒸镀掩膜板中,所述第一开口的数量为多个。
可选的,在所述的蒸镀掩膜板中,所述第二开口在所述掩膜片上的投影覆盖一个或者多个所述第一开口。
可选的,在所述的蒸镀掩膜板中,所述支撑掩膜的数量为多个,其中,一个或者多个支撑掩膜上设置有第二开口。
可选的,在所述的蒸镀掩膜板中,所述有源区具有第三开口,所述第三开口用于蒸镀单色像素。
本发明还提供一种OLED基板,所述OLED基板上设置有标记。
可选的,在所述的OLED基板中,所述标记位于所述OLED基板上的非显示区。
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