[发明专利]一种小型压差传感器在审
申请号: | 201710015956.2 | 申请日: | 2017-01-10 |
公开(公告)号: | CN106768602A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 张艳华;陈玉玲;史岩峰;姜志国;李国珍;邰爱民 | 申请(专利权)人: | 北京强度环境研究所;中国运载火箭技术研究院 |
主分类号: | G01L13/06 | 分类号: | G01L13/06;G01L19/00;G01L19/04 |
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地址: | 100076 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 小型 传感器 | ||
技术领域
本发明涉及传感器技术领域,尤其涉及一种小型压差传感器。
背景技术
压差传感器用于测量和控制两个油路的压力差,在军事和航空航天领域的伺服系统应用广泛,许多应用场合对传感器的高稳定性、高可靠性、温度误差都有严格的要求,而应用于航天型号的产品对产品的质量和尺寸又有严格的要求,但是目前常用的压差传感器尺寸大且结构复杂,不利于产品的小型化趋势。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明提供一种小型压差传感器,以解决目前常用的压差传感器尺寸大且结构复杂,不利于产品的小型化的问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种小型压差传感器,其特征在于:包括基座、顶盖、两敏感芯体以及电路板,
所述顶盖设置在所述基座上并与所述基座配合形成容置所述两敏感芯体以及所述电路板的腔室,
所述腔室包括在所述基座上间隔设置的两个敏感芯体容置腔,两敏感芯体分别设置在两个敏感芯体容置腔内,每个所述敏感芯体的感应端与所述基座之间形成密封腔,所述基座上对应所述密封腔设置有供气体或液体进入的通孔,
所述电路板固定在所述基座内,所述电路板与所述敏感芯体的接线端通过导线连接,所述电路板还连接有电缆线,所述基座上设置有电缆孔,所述电缆线穿过所述电缆孔与外界相应连接点连接。
进一步地,所述敏感芯体与所述基座焊接连接。
进一步地,所述电缆线包括电源线、输出线以及信号接地线,所述电路板包括依次设置的第一信号层、电源层、地层以及第二信号层。
进一步地,所述电缆孔连接有与所述电缆孔适配的束线管,所述电缆线穿过所述束线管并由所述束线管固定。
进一步地,所述束线管的外周壁上设置有垂直于所述束线管的轴向的束线螺钉,对应所述束线螺钉所述束线管的内周壁与所述电缆线之间设置有压环,所述束线螺钉通过所述压环将所述电缆线固定在所述束线管内。
进一步地,两个所述敏感芯体并排设置在所述基座的下部,两个所述敏感芯体的的下端面分别与所述基座形成密封腔室,两个所述敏感芯体的上端面分别设置有转接板,所述电路板对应设置在两个所述敏感芯体的上方,所述导线连接在所述电路板与所述转接板之间。
进一步地,所述电路板以及所述顶盖分别通过螺钉与所述基座固定连接,所述螺钉上涂覆有厌氧胶。
进一步地,所述电路板上设置有温度补偿芯片、差分放大电路以及保护电路,
所述敏感芯体采集到的测量信号经过温度补偿芯片进行温度补偿后再由差分放大电路放大后经保护电路后通过电缆线中的信号线输出。
进一步地,所述基座、所述束线螺钉以及所述束线管均为不锈钢材质,所述顶盖、所述压环均为铝材质。
进一步地,所述敏感芯体是基于MEMS技术制作的压阻敏感芯体。
(三)有益效果
本发明的上述技术方案具有如下优点:本发明提供的小型压差传感器的电路板以及敏感芯体均设置在基座与顶盖的形成的腔室内,且每个所述敏感芯体的感应端与所述基座之间形成共用的密封腔,其结构简单且紧凑、体积小,整机装配简单。
除了上面所描述的本发明解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外,本发明的其他技术特征及这些技术特征带来的优点,将结合附图作出进一步说明。
附图说明
图1是本发明实施例1小型压差传感器的主剖视示意图;
图2是本发明实施例1小型压差传感器的工作原理图;
图3是本发明实施例1小型压差传感器的基座的俯视示意图;
图4是本发明实施例1小型压差传感器的基座的主剖视示意图;
图5是本发明实施例1小型压差传感器的顶盖的俯视示意图。
图中:1:基座;2:敏感芯体;3:转接板;4:导线;5:束线管;6:压环;7:电路板;8:电缆;9:束线螺钉;10:紧固螺钉;11:顶盖;A:焊缝。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
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