[发明专利]静电放电保护器件在审

专利信息
申请号: 201710018367.X 申请日: 2017-01-10
公开(公告)号: CN108288617A 公开(公告)日: 2018-07-17
发明(设计)人: 谷欣明;陈捷 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 北京市磐华律师事务所 11336 代理人: 高伟;卜璐璐
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 静电放电保护器件 电源电压
【权利要求书】:

1.一种静电放电保护器件,其特征在于,所述静电放电保护器件包括N型掺杂区以及在所述N型掺杂区内的PNP型三极管。

2.根据权利要求1所述的静电放电保护器件,其特征在于,所述静电放电保护器件包括多个所述N型掺杂区,以及构成三极管组的多个所述PNP型三极管,各个所述PNP型三极管分散在各个所述N型掺杂区内,所述三极管组中的PNP型三极管彼此之间串联。

3.根据权利要求2所述的静电放电保护器件,其特征在于,所述静电放电保护器件包括两组所述三极管组,每组所述三极管组中的PNP型三极管彼此之间串联,两组所述三极管之间通过各自组内的一个PNP型三极管的集电极相连。

4.根据权利要求1-3中的任一项所述的静电放电保护器件,其特征在于,所述静电放电保护器件还包括若干电阻,一个所述电阻的两端分别连接到一个所述PNP型三极管的基极和发射极。

5.根据权利要求1-3中的任一项所述的静电放电保护器件,其特征在于,所述N型掺杂区为形成在P型衬底内的第一N阱。

6.根据权利要求5所述的静电放电保护器件,其特征在于,所述静电放电保护器件还包括形成在P型衬底内的深N阱以及形成在所述深N阱内的P阱,所述第一N阱形成在所述P阱中。

7.根据权利要求6所述的静电放电保护器件,其特征在于,所述静电放电保护器件还包括形成在所述深N阱内的第二N阱,所述第二N阱与所述P阱相邻设置,所述第二N阱用于将所述静电放电保护器件与所述P型衬底内的其他器件隔离开来,和/或用于将所述深N阱进行偏置。

8.根据权利要求6所述的静电放电保护器件,其特征在于,所述P阱的掺杂浓度小于所述P型衬底的掺杂浓度。

9.根据权利要求1-3中的任一项所述的静电放电保护器件,其特征在于,所述PNP型三极管的数量取决于所述静电放电保护器件外部连接的电源电压的大小。

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