[发明专利]用于测试光电器件的方法及装置有效
申请号: | 201710020015.8 | 申请日: | 2012-07-18 |
公开(公告)号: | CN106641888B | 公开(公告)日: | 2020-03-03 |
发明(设计)人: | A·沃尔坦;G·切莱雷;G·梅内盖索;M·梅内吉尼;D·巴尔比桑;E·扎诺利 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | F21S8/00 | 分类号: | F21S8/00;H02S50/10;G01R31/40 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 测试 光电 器件 方法 装置 | ||
1.一种用于测试光电器件的装置,所述装置包含:
光源器件,所述光源器件配置成再生太阳辐射的光谱,所述光源器件包含辐射板,所述辐射板被划分成多个单元,其中所述单元中的每一个包含多个发光二极管,所述多个发光二极管发射至少两种不同波长,以及
基板支座,所述基板支座设置成与所述光源器件相对,
其中所述多个发光二极管中的每一个配置成发射一波长,所述波长选自由以下颜色组成的群组:紫外、紫罗兰色、蓝、绿、黄、红、在红外光区的至少第一颜色与第二颜色,所述第一颜色与所述第二颜色相对于彼此具有不同波长,且其中所述辐射板的所述单元中的每一个单元至少在它的发光二极管的发射参数中被独立地控制。
2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述紫外波长小于400nm,所述紫罗兰色波长在400和450nm之间,和/或所述红外波长在760nm和1000nm之间。
3.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述辐射板与所述光电器件之间的距离为50mm到800mm。
4.如权利要求1所述的装置,进一步包含在所述辐射板与所述基板支座之间的中间位置提供一个或多个光学透镜。
5.如权利要求1所述的装置,进一步包含一个或多个传感器,所述传感器设置为接近所述基板支座。
6.如权利要求5所述的装置,其特征在于,所述一个或多个传感器设置为与所述基板支座的上表面相邻或在所述基板支座的每一侧。
7.如权利要求5或6所述的装置,其特征在于,所述一个或多个传感器选自由以下各项组成的群组:基于半导体的光电二极管、基于硅的光电二极管、基于Ge的光电二极管和基于GaAs的光电二极管。
8.如权利要求1所述的装置,进一步包含控制LED。
9.如权利要求8所述的装置,其特征在于,控制LED中的每一个位于与每个传感器相邻,以控制所述传感器的操作。
10.如权利要求8或9所述的装置,其特征在于,所述控制LED具有介于两个发光二极管的波长之间的波长。
11.如权利要求5或6所述的装置,进一步包含:控制系统,所述控制系统与所述一个或多个传感器相连接,并且所述控制系统适于接收与由所述辐射板随时间发射出的光谱相关联的信息以及调整发射参数以至少将波动最小化且在空间上使所发射出的辐射均匀化。
12.如权利要求11所述的装置,其特征在于,所述控制系统配置为至少在所述发光二极管的所述发射参数中独立地控制所述辐射板的单元中的每一个。
13.如权利要求11所述的装置,其特征在于,所述控制系统形成闭环控制。
14.如权利要求12所述的装置,其特征在于,所述控制系统形成闭环控制。
15.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述发光二极管以圆形配置或矩形配置进行排列。
16.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述辐射板被划分成三个不同单元,其中所述单元中的每个包含选自以下各种的不同波长的发光二极管:蓝、绿、红、在红外光区的第一颜色、第二颜色或第三颜色,所述第一颜色、第二颜色或第三颜色相对于彼此具有不同波长。
17.如权利要求16所述的装置,其特征在于,所述单元中的每个和不同类型的发光二极管中的每个配置为被独立控制。
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