[发明专利]降低沟槽型IGBT栅集电容并提高其击穿电压的方法在审
申请号: | 201710020572.X | 申请日: | 2017-01-12 |
公开(公告)号: | CN106684129A | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 步建康;徐朝军;李士垚 | 申请(专利权)人: | 河北昂扬微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423;H01L21/336;H01L29/739 |
代理公司: | 石家庄科诚专利事务所13113 | 代理人: | 张红卫;刘谟培 |
地址: | 050022 河北省石家*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 降低 沟槽 igbt 电容 提高 击穿 电压 方法 | ||
【说明书】:
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