[发明专利]一种微型柔性生物电极阵列及其制备方法有效
| 申请号： | 201710022002.4 | 申请日： | 2017-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108294741B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋兴宇;杨俊川;王乐 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | A61B5/263 | 分类号： | A61B5/263;A61B5/279;A61B5/293;A61B5/294;B81B3/00;B81C1/00;A61K50/00 |
| 代理公司： | 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11521 | 代理人： | 刘丹妮 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微型 柔性 生物 电极 阵列 及其 制备 方法 | ||
1.一种微型柔性生物电极阵列，其特征在于，所述微型柔性生物电极依次包括细菌纤维素膜、金属导电层和绝缘层；其中，
所述微型柔性生物电极阵列的制备方法包括：
(1)热压干细菌纤维素形成细菌纤维素薄膜，
(2)在步骤(1)形成的细菌纤维素薄膜上加工微电极阵列形成表面具有金属导电层的细菌纤维素薄膜，
(3)在步骤(2)形成的金属导电层表面制备绝缘层；
并且，所述微型柔性生物电极阵列达到30微米精度；
所述金属导电层中的金属为Ti和/或Cr；
所述金属导电层中的Ti厚度为20～30nm，和/或Cr厚度为10nm。
2.根据权利要求1所述的微型柔性生物电极阵列，其特征在于，所述细菌纤维素膜的厚度为10μm～100μm。
3.根据权利要求1或2所述的微型柔性生物电极阵列，其特征在于，所述绝缘层为SU-8光刻胶或氮化硅。
4.根据权利要求3所述的微型柔性生物电极阵列，其特征在于，所述SU-8光刻胶的厚度为100～500nm，和/或所述氮化硅的厚度为800nm。
5.权利要求1-4中任一项所述的微型柔性生物电极阵列的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
(1)热压干细菌纤维素形成细菌纤维素薄膜，
(2)在步骤(1)形成的细菌纤维素薄膜上加工微电极阵列形成表面具有金属导电层的细菌纤维素薄膜，
(3)在步骤(2)形成的金属导电层表面制备绝缘层。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)加工微电极阵列的方法包括：使用荫罩方法，将电极金属掩膜覆盖在所述细菌纤维素薄膜上，采用磁控喷溅或蒸镀方式在所述细菌纤维素薄膜的表面镀上所述金属导电层。
7.根据权利要求5或6所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)制备绝缘层的方法包括：利用光蚀刻的原理在所述金属导电层表面覆盖一层SU-8光刻胶。
8.根据权利要求5或6所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)制备绝缘层的方法包括：利用低温等离子体增强化学气相沉积法或等离子体增强化学气相沉积法，在所述金属导电层表面沉积上一层氮化硅组成绝缘层。
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