[发明专利]一种有机发光显示面板的制造方法

权利要求书

1.一种有机发光显示面板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括如下步骤：

提供一基板，所述基板包括多个发光区以及位于多个所述发光区之间的非发光区，且在所述基板的一侧形成像素定义层，所述像素定义层形成于所述非发光区；

在所述像素定义层远离所述基板的一侧形成间隔物；

在所述基板上的所述发光区中形成有机发光层；以及

在所述像素定义层以及所述有机发光层远离所述基板的一侧沉积公共层，所述公共层覆盖所述间隔物；所述沉积公共层的步骤中还包括如下步骤：

在所述像素定义层以及有机发光层远离所述基板的一侧形成电子传输层；

在所述电子传输层远离所述基板的一侧形成阴极层；

在所述阴极层远离所述基板的一侧形成覆盖层；其中，所述电子传输层、所述阴极层以及所述覆盖层的沉积方向与所述基板所在的第一平面之间形成的第一夹角均大于30度小于80度，并且所述电子传输层、所述阴极层以及所述覆盖层的蒸镀速率均为0.5～10埃米/秒。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述公共层通过一蒸镀装置蒸镀后形成，所述蒸镀装置包括一喷嘴，通过转动所述喷嘴调节所述第一夹角。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述蒸镀速率通过蒸镀的温度进行调节。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述电子传输层和所述覆盖层通过蒸镀的方法沉积，所述阴极层通过磁控溅射方法沉积。

5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述磁控溅射的功率小于150瓦。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的制造方法，其特征在于，在形成所述像素定义层和有机发光层之前，还包括如下步骤：

在所述基板靠近所述像素定义层和有机发光层的一侧形成驱动元件层，所述像素定义层和有机发光层形成于所述驱动元件层远离所述基板的一侧。

7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，在形成所述有机发光层之前还包括如下步骤：

在所述发光区形成像素电极层，所述像素电极层形成于所述驱动元件层远离所述基板的一侧，所述有机发光层形成于所述像素电极层远离所述基板的一侧。