[发明专利]以多光子激发技术检查物体的方法以及测量物体的装置

权利要求书

1.一种检查物体的方法，包括：

提供包括一标靶材料(target material)的该物体；

对该物体的一试样位置(sampling position)照射一激光光束，该激光光束具有波长λ；

聚焦该激光光束的一焦点(focal point)于该物体的该试样位置上，通过同时吸收n个该激光光束的入射光子而产生该标靶材料的分子激发，其中n等于或大于2；以及

以一检测器分析自该物体发出的一输出光(output light)，包括：

以该检测器检测该输出光的一光强度，以获得该激光光束于波长范围0.8λ至1.2λ的入射光子的一光强度损失，且该光强度损失是因多光子的吸收效应所致。

2.如权利要求1所述的方法，其中该激光光束的波长λ大于900nm。

3.如权利要求1所述的方法，其中该激光光束的波长λ在大于900nm但小于1600nm的范围内。

4.如权利要求1所述的方法，其中该激光光束的波长λ在大于900nm但小于1200nm的范围内。

5.如权利要求1所述的方法，还包括：

在进行分析前，以一光学滤片(optical filter)滤掉波长小于0.8λ或大于1.2λ的光，或是以至少两该光学滤片滤掉波长小于0.8λ或大于1.2λ的光。

6.如权利要求1所述的方法，还包括：

在该输出光自该物体发出后，以一光学滤片(optical filter)滤掉波长小于λ或大于λ的光，或是以至少两该光学滤片滤掉波长小于λ或大于λ的光。

7.如权利要求1所述的方法，其中该物体具有平行于xy-平面的一表面，该方法包括：

在垂直于该xy-平面的z-方向对位于该试样位置的该物体进行扫描，且每次所述扫描包括前述照射步骤、聚焦步骤和分析步骤。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述方法应用于检测该标靶材料的一离子浓度分布。

9.如权利要求1所述的方法，其中n等于2。

10.如权利要求1所述的方法，其中该物体为一偏光板，该标靶材料为掺杂的碘离子。

11.一种以多光子激发技术测量物体的装置，包括：

平台组件(stage means)以置放包括一标靶材料的该物体；

至少一同调性脉冲光的光源(source of coherent pulsed light)具有波长λ；

镜头组件(lens means)，经一物镜平面(object lens plane)聚焦该同调性脉冲光于该物体的一试样位置，因而造成该标靶材料同时吸收该同调性脉冲光的n个光子，其中n等于或大于2；以及

检测器(detector)，检测该物体发出的一输出光的光强度，以获得该同调性脉冲光于波长范围0.8λ至1.2λ的入射光子的一光强度损失，其中该输出光的波长范围在0.8λ至1.2λ之间，且该光强度损失是因多光子的吸收效应所致。

12.如权利要求11所述的装置，其中所述的至少该同调性脉冲光，其波长λ大于900nm。

13.如权利要求11所述的装置，其中所述的至少该同调性脉冲光，其波长λ在大于900nm但小于1600nm的范围内。

14.如权利要求11所述的装置，其中所述的至少该同调性脉冲光，其波长λ在大于900nm但小于1200nm的范围内。

15.如权利要求11所述的装置，还包括

滤光组件(filter means)，可在该同调性脉冲光自该物体发出后，滤掉波长小于0.8λ或大于1.2λ的光。