[发明专利]静电放电钳位器件以及静电放电钳位电路有效
申请号: | 201710022587.X | 申请日: | 2017-01-12 |
公开(公告)号: | CN108305873B | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 谷欣明;陈捷 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L27/06 | 分类号: | H01L27/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 静电 放电 器件 以及 电路 | ||
1.一种静电放电钳位器件,其特征在于,包括:
衬底;
所述衬底上具有两个以上相隔离的阱区;
在每一个所述阱区中,包括依次间隔排列的第一掺杂区、第二掺杂区和第三掺杂区,其中,第一掺杂区、第二掺杂区和第三掺杂区用于构成三极管,以及,所述第一掺杂区包括发射极掺杂区,所述第二掺杂区包括基极掺杂区,所述第三掺杂区包括集电极掺杂区;
在不同的所述阱区之间,第一个所述阱区中的第一掺杂区连接一第一电源线,最后一个所述阱区中的第三掺杂区连接一第二电源线,前一所述阱区中的第三掺杂区连接后一所述阱区中的第一掺杂区;
其中,所述衬底、第一掺杂区和第三掺杂区为第一导电类型,所述阱区和第二掺杂区为第二导电类型。
2.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第二掺杂区和第三掺杂区均为环形,所述第二掺杂区围绕所述第一掺杂区,所述第三掺杂区围绕所述第二掺杂区。
3.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述静电放电钳位器件还包括第一深阱,所述阱区位于所述第一深阱中,所述第一深阱为第一导电类型。
4.如权利要求3所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述静电放电钳位器件还包括用于隔离所述第一深阱的第二深阱,所述第二深阱为第二导电类型。
5.如权利要求4所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第二深阱中设置有引出区,所述引出区接浮动电压,所述引出区为第二导电类型。
6.如权利要求3所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述静电放电钳位器件还包括第三深阱,所述第一深阱位于所述第三深阱中,所述第三深阱为第二导电类型。
7.如权利要求6所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第三深阱的掺杂浓度小于所述阱区的掺杂浓度。
8.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一导电类型为P型,所述第二导电类型为N型。
9.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线为高压电源线,所述第二电源线为低压电源线。
10.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于20V。
11.如权利要求10所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。
12.一种静电放电钳位电路,其特征在于,包括两个以上三极管,第一个所述三极管的发射极连接一第一电源线,最后一个所述三极管的集电极连接一第二电源线,前一所述三极管的集电极连接后一所述三极管的发射极;其中,每个三极管对应形成在一个阱区中;
以及,所述静电放电钳位电路还包括第一深阱、第三深阱、衬底;所述阱区位于所述第一深阱中,所述第一深阱为第一导电类型;所述第一深阱位于所述第三深阱中,所述第三深阱为第二导电类型;所述第三深阱位于所述衬底中。
13.如权利要求12所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线为高压电源线,所述第二电源线为低压电源线。
14.如权利要求12或13所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述三极管为PNP三极管。
15.如权利要求12或13所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述三极管为双极型三极管。
16.如权利要求12所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于20V。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的