[发明专利]静电放电钳位器件以及静电放电钳位电路有效

专利信息
申请号: 201710022587.X 申请日: 2017-01-12
公开(公告)号: CN108305873B 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 谷欣明;陈捷 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L27/06 分类号: H01L27/06
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 静电 放电 器件 以及 电路
【权利要求书】:

1.一种静电放电钳位器件,其特征在于,包括:

衬底;

所述衬底上具有两个以上相隔离的阱区;

在每一个所述阱区中,包括依次间隔排列的第一掺杂区、第二掺杂区和第三掺杂区,其中,第一掺杂区、第二掺杂区和第三掺杂区用于构成三极管,以及,所述第一掺杂区包括发射极掺杂区,所述第二掺杂区包括基极掺杂区,所述第三掺杂区包括集电极掺杂区;

在不同的所述阱区之间,第一个所述阱区中的第一掺杂区连接一第一电源线,最后一个所述阱区中的第三掺杂区连接一第二电源线,前一所述阱区中的第三掺杂区连接后一所述阱区中的第一掺杂区;

其中,所述衬底、第一掺杂区和第三掺杂区为第一导电类型,所述阱区和第二掺杂区为第二导电类型。

2.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第二掺杂区和第三掺杂区均为环形,所述第二掺杂区围绕所述第一掺杂区,所述第三掺杂区围绕所述第二掺杂区。

3.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述静电放电钳位器件还包括第一深阱,所述阱区位于所述第一深阱中,所述第一深阱为第一导电类型。

4.如权利要求3所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述静电放电钳位器件还包括用于隔离所述第一深阱的第二深阱,所述第二深阱为第二导电类型。

5.如权利要求4所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第二深阱中设置有引出区,所述引出区接浮动电压,所述引出区为第二导电类型。

6.如权利要求3所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述静电放电钳位器件还包括第三深阱,所述第一深阱位于所述第三深阱中,所述第三深阱为第二导电类型。

7.如权利要求6所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第三深阱的掺杂浓度小于所述阱区的掺杂浓度。

8.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一导电类型为P型,所述第二导电类型为N型。

9.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线为高压电源线,所述第二电源线为低压电源线。

10.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于20V。

11.如权利要求10所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。

12.一种静电放电钳位电路,其特征在于,包括两个以上三极管,第一个所述三极管的发射极连接一第一电源线,最后一个所述三极管的集电极连接一第二电源线,前一所述三极管的集电极连接后一所述三极管的发射极;其中,每个三极管对应形成在一个阱区中;

以及,所述静电放电钳位电路还包括第一深阱、第三深阱、衬底;所述阱区位于所述第一深阱中,所述第一深阱为第一导电类型;所述第一深阱位于所述第三深阱中,所述第三深阱为第二导电类型;所述第三深阱位于所述衬底中。

13.如权利要求12所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线为高压电源线,所述第二电源线为低压电源线。

14.如权利要求12或13所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述三极管为PNP三极管。

15.如权利要求12或13所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述三极管为双极型三极管。

16.如权利要求12所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于20V。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710022587.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top