[发明专利]一种基于柔性基板MEMS开关结构的曲率传感器有效
| 申请号： | 201710023286.9 | 申请日： | 2017-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN106672894B | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;肖申;于洋 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81B7/02;H01P1/15;G01B7/28 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 mems 开关 结构 曲率 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于柔性基板MEMS开关结构的曲率传感器，其特征在于：该曲率传感器包括柔性基板(1)，设于柔性基板(1)上表面的共面波导信号线(2)、共面波导第一地线(3a)和共面波导第二地线(3b)、第一吸合块(4a)、第二吸合块(4b)、连接共面波导第一地线(3a)和共面波导第二地线(3b)的MEMS膜桥(5)以及第一直流驱动块(6a)和第二直流驱动块(6b)；
共面波导信号线(2)、共面波导第一地线(3a)和共面波导第二地线(3b)在柔性基板(1)上共同组成共面波导，MEMS膜桥(5)横跨在共面波导第一地线(3a)和共面波导第二地线(3b)上，在共面波导信号线(2)与共面波导第一地线(3a)和共面波导第二地线(3b)之间分别放置了第一吸合块(4a)和第二吸合块(4b)，第一吸合块(4a)和第二吸合块(4b)分别与外部的第一直流驱动块(6a)和第二直流驱动块(6b)相连；
当柔性基板(1)贴合在一个曲率的表面上时，弯曲的柔性基板(1)会导致MEMS膜桥(5)与共面波导信号线(2)及第一吸合块(4a)和第二吸合块(4b)之间的间距发生变化，这会导致MEMS开关的吸合电压发生改变，通过测量第一直流驱动块(6a)和第二直流驱动块(6b)加载的吸合电压变化，实现曲率的测量。
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