[发明专利]微型流体控制装置在审
申请号: | 201710025959.4 | 申请日: | 2017-01-13 |
公开(公告)号: | CN108302015A | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 廖家淯;陈世昌;黄启峰;韩永隆 | 申请(专利权)人: | 研能科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 喻学兵 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电致动器 集气腔室 凹置槽 共振片 进气板 基准表面 控制装置 微型流体 贯穿孔 集气板 暂存腔 传输气体 间隙形成 依序堆叠 组装定位 空孔洞 穿孔 排出 容置 振片 连通 承载 室内 传输 驱动 封闭 | ||
1.一种微型流体控制装置,其特征在于,包括:
一进气板;
一共振片,具有一中空孔洞;
一压电致动器;
一集气板,具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔,该凹置槽面具有一深度,可供该压电致动器、该共振片及该进气板依序堆叠容置组装定位其中,而该凹置槽面底部凹置形成一集气腔室,透过该贯穿孔与该基准表面连通,且该集气腔室受该压电致动器承载于上方而封闭;
其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一暂存腔室,该压电致动器受驱动时,气体由该进气板进入,流经该共振片,以进入该暂存腔室内再传输至该集气腔室,透过该贯穿孔排出该集气板外,以持续传输气体。
2.如权利要求1所述的微型流体控制装置,其特征在于,该进气板具有至少一进气孔、至少一总线孔及构成一汇流腔室的一中心凹部,该至少一进气孔供导入气体,该总线孔对应该进气孔,且引导该进气孔的气体汇流至该中心凹部所构成的该汇流腔室,以及该汇流腔室对应到该共振片的该中空孔洞。
3.如权利要求1所述的微型流体控制装置,其特征在于,该压电致动器包括有:
一悬浮板,可由一中心部到一外周部弯曲振动;
一外框,环绕设置于该悬浮板之外侧;
至少一支架,连接于该悬浮板与该外框之间,以提供弹性支撑;
一压电元件,具有不大于该悬浮板边长的边长,贴附于该悬浮板的一第一表面上,用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。
4.权利要求3所述的微型流体控制装置,其特征在于,该悬浮板为正方形的型态。
5.如权利要求3所述的微型流体控制装置,其特征在于,更包括两绝缘片及一导电片,且一该绝缘片、该导电片及另一该绝缘片依序设置于该压电致动器之下,且该导电片上设有一导电接脚,以及该压电致动器的该外框也向外凸设有一导电接脚。
6.权利要求5所述的微型流体控制装置,其特征在于,该集气板于一侧面设有一开窗口连通该凹置槽面,供使该导电片的该导电接脚及该压电致动器的该外框向外凸设的该导电接脚透过该开窗口凸伸于该集气板外方便连接进行电导通之用。
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