[发明专利]液体喷射头制造方法有效
| 申请号： | 201710027199.0 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN106976316B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 松本圭司;山室纯;浅井和宏;笹木弘司;鱼桥邦仁;柳沼诚一郎;村上辽太郎;渡部正久;中野智彦;枝松启治;中田春香;藤井谦儿 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 林振波<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 制造 方法 | ||
1.一种制造液体喷射头的方法，液体喷射头具有喷射口形成区域，喷射口形成区域包括：液体喷射能量生成元件，其连同用于驱动液体喷射能量生成元件的电配线一起设置在基板的第一表面上；多个液体供给口，各自贯穿基板并且具有在基板的第一表面处的开口；液体路径，形成在第一表面上，作为容纳液体喷射能量生成元件和所述多个液体供给口的空间；和喷射口，用于通过驱动液体喷射能量生成元件而从液体路径喷射液体，该方法包括：
使用第一干膜光阻在基板的第一表面上形成液体路径形成部件的步骤；
在液体路径形成部件上形成喷射口形成部件的步骤；
在液体路径形成部件中形成液体路径的步骤；和
在喷射口形成部件中形成喷射口的步骤，
其中，基板具有在喷射口形成区域外的多个假孔，每个假孔具有在基板的第一表面处的开口，
其中，形成液体路径的步骤包括固化位于假孔上方的液体路径形成部件的至少一部分的步骤。
2.根据权利要求1的方法，其中，
假孔的开口边缘和所述多个液体供给口的开口边缘之间的最小距离不小于0.2mm且不大于1.0mm。
3.根据权利要求1的方法，其中，
形成液体路径的步骤包括固化位于假孔上方的全部液体路径形成部件的步骤。
4.根据权利要求1的方法，其中，
形成喷射口形成部件的步骤是通过使用第二干膜光阻来形成喷射口形成部件的步骤，并且形成喷射口的步骤包括固化位于假孔上方的喷射口形成部件的至少一部分的步骤。
5.根据权利要求4的方法，其中，
形成喷射口的步骤包括固化位于假孔上方的全部喷射口形成部件的步骤。
6.根据权利要求2的方法，其中，
形成液体路径的步骤包括固化位于假孔上方的液体路径形成部件的至少一部分的步骤。
7.根据权利要求6的方法，其中，
形成液体路径的步骤包括固化位于假孔上方的全部液体路径形成部件的步骤。
8.根据权利要求2的方法，其中，
形成喷射口形成部件的步骤是通过使用第二干膜光阻来形成喷射口形成部件的步骤，并且形成喷射口的步骤包括固化位于假孔上方的喷射口形成部件的至少一部分的步骤。
9.根据权利要求8的方法，其中，
形成喷射口的步骤包括固化位于假孔上方的全部喷射口形成部件的步骤。
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