[发明专利]一种柔性铰链导向的平面XYθ三自由度精度补偿器

权利要求书

1.一种柔性铰链导向的XYθ平面三自由度精度补偿器，其特征在于：包括补偿装置和安装底座；

所述补偿装置包括三组固定块、末端执行器、三个位移驱动装置和三组分别连接于各所述固定块和末端执行器之间的三条柔性支链，所述固定块固定于所述安装底座；

所述末端执行器呈三角形块状，三个所述固定块以环形阵列的方式设置在所述末端执行器周围，三个所述固定块的内端面分别对应于所述末端执行器的三个端面；

每个所述柔性支链两端分别通过铰链铰接于所述末端执行器和所述固定块，所述柔性支链包括第一杠杆和第二杠杆，所述第一杠杆与第二杠杆之间呈八十五度到九十五度的夹角，所述第二杠杆一端通过铰链铰接于所述末端执行器；

所述第一杠杆的尾段通过铰链铰接于一个所述固定块的外端面的左边部分，所述第二杠杆通过铰链铰接于所述第一杠杆前段，所述第二杠杆位于所述固定块右端面；

每个所述位移驱动装置分别约束于一个所述固定块，所述位移驱动装置端部通过螺钉固定于所述第一杠杆尾段；

所述末端执行器的三个侧端面均设有凸块，所述凸块均位于所述末端执行器侧端面的右边，所述凸块的外侧壁与相邻的末端执行器侧面为圆角过渡；

所述凸块的正端面朝向所述第二杠杆，所述第二杠杆一端通过铰链铰接于第一杠杆的前段，所述第二杠杆另一端通过铰链铰接于所述凸块的正端面。

2.根据权利要求1所述的柔性铰链导向的XYθ平面三自由度精度补偿器，其特征在于：所述补偿装置还包括基座盘，所述末端执行器的中心点和所述基座盘的圆心同心；

所述基座盘与三个所述固定块一体化设置，所述基座盘上开设有位移驱动装置安装槽、第一杠杆容纳槽和第二杠杆容纳槽；

所述驱动装置安装槽开设于所述固定块左端面处，所述第一杠杆容纳槽开设于所述固定块外端面处，所述第二杠杆容纳槽开设于所述固定块右端面处。

3.根据权利要求2所述的柔性铰链导向的XYθ平面三自由度精度补偿器，其特征在于：所述固定块和基座盘固定安装于所述安装底座，所述安装底座呈圆形，所述安装底座与所述基座盘的直径相等。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的柔性铰链导向的XYθ平面三自由度精度补偿器，其特征在于：所述铰链为圆弧型柔性铰链。

5.根据权利要求1-3中任意一项所述的柔性铰链导向的XYθ平面三自由度精度补偿器，其特征在于：所述位移驱动装置端部设有保护套筒。

6.根据权利要求2所述的柔性铰链导向的XYθ平面三自由度精度补偿器，其特征在于：所述第一杠杆的尾端到前段呈由粗变细的形状，所述第一杠杆的尾端开设有缺口；

所述第一杠杆容纳槽的端部超出第二杠杆容纳槽侧壁，所述第一杠杆的端部限制于所述第一杠杆容纳槽的端部。

7.根据权利要求5所述的柔性铰链导向的XYθ平面三自由度精度补偿器，其特征在于：所述位移驱动装置为堆栈式压电陶瓷，所述保护套筒为弹性套筒。

8.根据权利要求5所述的柔性铰链导向的XYθ平面三自由度精度补偿器，其特征在于：还包括位移检测装置，所述位移检测装置包括凸块和激光位移传感器；

所述保护套筒顶端均固定设有所述凸块，所述凸块呈矩形体状，所述凸块前侧面和后侧面为镜面，所述凸块前侧面与所述位移驱动装置平行；

所述激光位移传感器对准于所述凸块的前侧面，每个所述凸块均设有一个对应的激光位移传感器。

9.根据权利要求8所述的柔性铰链导向的XYθ平面三自由度精度补偿器，其特征在于：所述末端执行器上固定安装有晶圆台，所述晶圆台呈薄圆盘状。