[发明专利]一种立体光栅测角传感器装置

权利要求书

1.一种立体光栅测角传感器装置，其特征在于：包括端面光栅和侧面光栅，端面光栅包括上端面光栅和下端面光栅，并且端面光栅和侧面光栅能够根据实际需求任意组合，从而构成立体光栅测角传感器；所述端面和侧面光栅均有读数头，所述侧面光栅由一个或多个构成，所述端面光栅由一个或多个构成。

2.根据权利要求1所述的立体光栅测角传感器装置，其特征在于：所述端面光栅、侧面光栅任意组合的形式为：由多个端面光栅和多个侧面光栅组成，或由一个端面光栅和多个侧面光栅组成，或由多个端面光栅和一个侧面光栅组成，或由一个端面光栅和一个侧面光栅组成。

3.根据权利要求1或2所述的立体光栅测角传感器装置，其特征在于：所述端面光栅与侧面光栅有刻线，刻线疏密程度能够根据实际需要进行设计。

4.根据权利要求2所述的立体光栅测角传感器装置，其特征在于：所述端面光栅由多个组光栅组成时，这些光栅的刻线可错位分布，也可对齐分布。

5.根据权利要求2所述的立体光栅测角传感器装置，其特征在于：所述侧面光栅由多个光栅组成时，这些光栅的刻线可错位分布，也可对齐分布。

6.根据权利要求1或2所述的立体光栅测角传感器装置，其特征在于：所述端面光栅、侧面光栅任意组合时，最外边端面光栅的刻线与侧面光栅的刻线位置，可一一对应分布，也可错位分布。

7.根据权利要求1或2所述的立体光栅测角传感器装置，其特征在于：所述端面和侧面光栅的读数头可采用均匀分布或分散式分布的布局方式，读数头的个数能够根据使用要求任意设置。

8.根据权利要求1或2所述的立体光栅测角传感器装置，其特征在于：增加端面光栅的读数头个数能够提高测量精度，但读数头的个数又受到读数头间最小间距量的限制，采用端面和侧面布置读数头的方式，读数头的个数与读数头间最小间距两者可不受这一制约，即端面读数头和侧面读数头间无最小间距量限制，进一步提高测量精度。

9.根据权利要求1或2所述的立体光栅测角传感器装置，其特征在于：通过增大端面光栅的读数头的读数权重来抑制径向跳动；通过增大侧面光栅的读数头的读数权重来抑制轴向跳动。

10.根据权利要求1或2所述的立体光栅测角传感器装置，其特征在于：所述端面和侧面光栅的读数头间的距离能够根据使用要求任意调节。