[发明专利]一种金属材料表面渗氮沉积复合减摩耐磨改性层制备方法有效

专利信息
申请号: 201710030980.3 申请日: 2017-01-17
公开(公告)号: CN106884136B 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 何永勇;李杨;王伟;赵军;胡宝国 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: C23C8/38 分类号: C23C8/38
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 朱琨
地址: 100084 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 金属材料 表面 沉积 复合 耐磨 改性 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种金属材料表面渗氮沉积复合减摩耐磨改性层制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将金属材料工件表面磨平、抛光,用酒精清洗后,放置于空心阴极放电离子源渗氮炉内的阳极电位台上;

所述金属材料为AISI304奥氏体不锈钢,其组成为:C 0.05wt%;Si 0.80wt%;Mn1.50wt%;Cr 17.5wt%;Ni 9.50wt%;Mo 0.013wt%;T i0.011wt%;余量为Fe;

所述空心阴极放电离子源渗氮炉采用脉冲电源,炉壁作为阳极,空心不锈钢管阵作为放电阴极,其中,空心不锈钢管直径为8~10mm;

(2)启动抽真空系统对渗氮炉抽真空,当炉内真空度达到10-15Pa时,向真空炉内充入净化过的氨气,使氨气均匀分布在整个渗氮炉内,调节氨气的流量,使炉内的压强保持100-500Pa;

(3)打开供电系统的电源,炉内的氨气在高压电场的作用下发生电离形成NHj+、N+和H+等离子体,到达所述 渗氮温度后,开始计算保温时间;

所述渗氮温度440-520℃,保温时间8h;

(4)保温结束后,切断电源,维持低压,使工件在氨气气氛中随炉冷却,待温度降到200℃以下出炉,得到渗氮沉积复合减摩耐磨改性层;

所述渗氮沉积复合减摩耐磨改性层的厚度为6-16μm;

经440℃渗氮处理的试样,在奥氏体γ(111)和γ(200)衍射峰的低角度方向都出现了新的较宽的衍射峰S(111)和S(200),随着温度升高到480℃,S(111)和S(200)相的衍射峰衍射峰向更低的角度偏移;在520℃氮化处理后,试样表面主要由是S相、CrN和马氏体α相为主,另有的少量γ′-Fe4N相。

2.一种金属材料表面渗氮沉积复合减摩耐磨改性层制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将金属材料工件表面磨平、抛光,用酒精清洗后,放置于空心阴极放电离子源渗氮炉内的阳极电位台上;

所述金属材料为AISI304奥氏体不锈钢,其组成为:C 0.05wt%;Si 0.80wt%;Mn1.50wt%;Cr 17.5wt%;Ni 9.50wt%;Mo 0.013wt%;T i0.011wt%;余量为Fe;

所述空心阴极放电离子源渗氮炉采用脉冲电源,炉壁作为阳极,空心不锈钢管阵作为放电阴极,其中,空心不锈钢管直径为8~10mm;

(2)启动抽真空系统对渗氮炉抽真空,当炉内真空度达到10-15Pa时,向真空炉内充入净化过的氨气,使氨气均匀分布在整个渗氮炉内,调节氨气的流量,使炉内的压强保持100-500Pa;

(3)打开供电系统的电源,炉内的氨气在高压电场的作用下发生电离形成NHj+、N+和H+等离子体,到达所渗氮温度后,开始计算保温时间;

所述渗氮温度520℃,保温时间8h;

(4)保温结束后,切断电源,维持低压,使工件在氨气气氛中随炉冷却,待温度降到200℃以下出炉,得到渗氮沉积复合减摩耐磨改性层;

所述渗氮沉积复合减摩耐磨改性层的厚度为6-16μm;

在520℃氮化处理后,试样表面主要由是S相、CrN和马氏体α相为主,另有的少量γ′-Fe4N相。

3.一种金属材料表面渗氮沉积复合减摩耐磨改性层制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)用SiC砂纸从粗到细将试样表面磨平,然后进行抛光;用酒精清洗后,放置于空心阴极放电离子源渗氮炉内的阳极电位台上;

所述试样为AISI304奥氏体不锈钢,其成分为:0.05wt.%C;0.80wt.%Si;1.50wt.%Mn;17.5wt.%Cr;9.50wt.%Ni;0.013wt.%Mo;0.011wt.%Ti;Fe余量;

步骤(1)所述空心阴极放电离子源渗氮炉采用脉冲电源,炉壁作为阳极,空心不锈钢管阵作为放电阴极,其中,空心不锈钢管直径为8~10mm;

(2)启动抽真空系统对渗氮炉抽真空,当炉内真空度达到15Pa时,向真空炉内充入净化过的氨气,使氨气均匀分布在整个渗氮炉内,调节氨气的流量,使炉内的压强保持500Pa左右;

(3)打开供电系统的电源,炉内的氨气在高压电场的作用下发生电离形成NHj+、N+和H+等离子体,到达所渗氮温度后,开始计算保温时间;

所述氮化温度为520℃,保温氮化处理8h;

(4)保温结束后,切断电源,维持低压,使工件在氨气气氛中随炉冷却,待温度降到200℃以下出炉,得到渗氮沉积复合减摩耐磨改性层;

所述渗氮沉积复合减摩耐磨改性层主要由是S相、CrN和马氏体α相为主,另有的少量γ′-Fe4N相;

所述空心阴极放电离子源渗扩沉积氮化样品表面有明显沉积层,由直径为100纳米作用的小颗粒所构成。

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