[发明专利]具有扩散截止通道的微机械构件

权利要求书

1.用于制造微机械构件(1)的方法，该微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，所述罩(7)与所述衬底(3)包围第二空穴，其中，在所述第二空穴中存在第二压力并且包含具有第二化学组分的第二气体混合物，其中，

-在第一方法步骤(101)中，在所述衬底(3)中或在所述罩(7)中构造连接第一空穴(5)与所述微机械构件(1)周围环境(9)的进入开口(11)，其中，

-在第二方法步骤(102)中，设定在所述第一空穴(5)中的第一压力和/或第一化学组分，其中，

-在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底(3)的或所述罩(7)的吸收部分中来封闭所述进入开口(11)，其特征在于，

-在第四方法步骤(104)中，构造基本上布置在所述第一空穴(5)与所述第二空穴之间的空隙(1501)，用于排出所述第一气体混合物的至少一种第一微粒类型(A)和/或所述第二气体混合物的至少一种第二微粒类型(B)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述空隙(1501)至少部分在布置在所述衬底(3)与所述罩(7)之间的键合层(1503)中构造。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述空隙(1501)至少部分在布置在所述衬底(3)与所述罩(7)之间的层(1505)中构造。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述空隙(1501)至少部分在布置在所述衬底(3)与所述罩(7)之间的另一层(1507)中构造。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述空隙(1501)至少部分在所述衬底(3)中和/或所述罩(7)中构造。

6.微机械构件(1)，所述微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力和包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，所述罩(7)与所述衬底(3)包围第二空穴，其中，在所述第二空穴中存在第二压力并且包含具有第二化学组份的第二气体混合物，其中，所述衬底(3)或所述罩(7)包括封闭的进入开口(11)，其特征在于，

所述微机械构件(1)包括基本上布置在第一空穴(5)与第二空穴之间的空隙(1501)，用于排出所述第一气体混合物的至少一种第一微粒类型(A)和/或所述第二气体混合物的至少一种第二微粒类型(B)。

7.根据权利要求6所述的微机械构件(1)，其中，所述空隙(1501)至少部分在布置在所述衬底(3)与所述罩(7)之间的键合层(1503)中布置。

8.根据权利要求6或7所述的微机械构件(1)，其中，所述空隙(1501)至少部分在布置在所述衬底(3)与所述罩(7)之间的层(1505)中布置。

9.根据权利要求6或7所述的微机械构件(1)，其中，所述空隙(1501)至少部分在布置在所述衬底(3)与所述罩(7)之间的另一层(1507)中布置。

10.根据权利要求6或7所述的微机械构件(1)，其中，所述空隙(1501)至少部分在所述衬底(3)中和/或所述罩(7)中布置。