[发明专利]光谱量测系统、光谱量测装置、光学量测方法与光学校正方法

说明书

一种光学校正方法，用于供具有光输入部的光谱量测装置执行。首先，通过光输入部量测多道窄频光，以分别取得多笔窄频光谱脉冲响应。之后，根据这些窄频光谱脉冲响应，建立杂散光资料库。根据杂散光资料库，产生修正程式。接着，从光输入部接收分光辐射标准光，并令修正程式被致能的光谱量测装置量测分光辐射标准光的光谱，以取得量测光谱资料。根据量测光谱资料与分光辐射标准光谱资料，产生校正系数程式，其能使量测光谱资料与分光辐射标准光谱资料匹配。

技术领域

本发明涉及一种光学量测系统(optical measurement system)、光学量测装置与光学校正方法，尤其涉及一种光谱量测系统、光谱量测方法以及应用于前述两者的光学校正方法。

背景技术

光谱仪(spectrometer)是一种能分析光以得到光谱(spectrum)的常见光学量测装置，而现今许多产业，例如生物科技、显示面板制造商以及发光二极管(Light EmittingDiode，LED)制造厂，大多拥有多台在产线上使用的光谱仪。这些光谱仪在第一次量测产品(product)或样品(sample)以前，会先利用分光辐射通量标准灯(spectral radiant fluxstandard lamp)，例如卤素灯(halogen lamp)，来进行分光辐射光通量校正(spectralradiant flux calibration)。

然而，当各个光谱仪接收分光辐射通量标准灯的光来进行校正时，这些光谱仪内部都会产生的杂散光(stray light)，而杂散光会产生对量测结果不良的影响而降低分光辐射通量的准确性，从而削弱上述校正的效果。此外，这些光谱仪的杂散光彼此不同，所以这些光谱仪对同一产品或样品所测得的量测结果彼此之间可能会存有明显且无法忽略的差异，导致这些光谱仪所得到的量测结果出现不一致的情形。

发明内容

本发明提供一种光学校正方法，其利用降低杂散光对量测结果的影响来提升准确性。

本发明提供一种光谱量测装置，其采用上述光学校正方法。

本发明提供一种光谱量测系统，其包括多台上述光谱量测装置，并采用上述光学校正方法来帮助这些光谱量测装置之间的量测结果一致。

本发明提供一种光谱量测方法，其适用于上述光谱量测装置与光谱量测系统。

本发明其中一实施例所提供的光学校正方法适用于一光谱量测装置，其中光谱量测装置包括一光输入部。在上述光学校正方法中，首先，光谱量测装置通过光输入部量测多道窄频光(narrow-band rays)，以分别取得多笔窄频光谱脉冲响应(impulse response)。接着，根据这些窄频光谱脉冲响应，建立一杂散光资料库，其中杂散光资料库具有光谱量测装置及其光输入部的杂散光资讯。根据杂散光资料库，产生属于光谱量测装置的修正程式，其中修正程式用以修正光谱量测装置及其光输入部所产生的杂散光。在修正程式被致能(enabled)的状态下，光谱量测装置通过光输入部量测分光辐射标准光，以取得经过修正程式处理的量测光谱资料。之后，根据量测光谱资料与分光辐射标准光谱资料，产生属于光谱量测装置的校正系数程式(calibration coefficient program)，其中校正系数程式使量测光谱资料与分光辐射标准光谱资料匹配，而分光辐射标准光谱资料可由标准光谱量测装置量测分光辐射标准光而取得。