[发明专利]一种气相沉积法制备纳米多孔镁的方法

权利要求书

1.一种气相沉积法制备纳米多孔镁的方法，其特征在于：包括如下步骤：

(1)将镁粉置于不锈钢沉积室底部，再将不锈钢网基底置于不锈钢沉积室中镁粉上方110～130mm处；将不锈钢沉积室垂直放入石英管底部；将石英管垂直放入加热炉中，使不锈钢沉积室的底部位于加热炉的加热中心区；

(2)将石英管用波纹管连接到机械泵；同时将通气管道插入石英管内部，在沉积过程中保证通气管道在不锈钢沉积室的内部，在不锈钢网基底的上方，且通气管道不接触不锈钢网基底；

(3)打开机械泵，将石英管抽至10^‐1Pa；通过通气管道通入乙醇蒸汽，使石英管内真空度维持在10^‐1～20Pa之间；

(4)加热炉开始加热，待加热到540～600℃后，镁粉蒸发，保持200～300℃下沉积1～6h，然后停止加热；关闭机械泵，停止通入乙醇蒸汽；将石英管从加热炉中移出，空冷至室温；

(5)打开石英管与波纹管连接处的法兰，将不锈钢沉积室取出，取出其中的不锈钢网基底与沉积物，沉积物即为纳米多孔镁。

2.根据权利要求1所述的气相沉积法制备纳米多孔镁的方法，其特征在于：所述步骤(1)中镁粉的粒度大小为75～150μm。

3.根据权利要求1所述的气相沉积法制备纳米多孔镁的方法，其特征在于：所述不锈钢网基底为1500目不锈钢网，尺寸为26mm×23mm。

4.根据权利要求1所述的气相沉积法制备纳米多孔镁的方法，其特征在于：所述不锈钢沉积室为沉积装置，高140mm，外部横截面尺寸为25mm×25mm，内部横截面尺寸为23mm×23mm，底部封口，顶部开口，在不锈钢沉积室侧面110mm、120mm和130mm处分别设计插口，插口宽为0.6mm，长25mm。

5.根据权利要求1所述的气相沉积法制备纳米多孔镁的方法，其特征在于：所述通气管道为直径3mm的不锈钢管。