[发明专利]一步织构化改性钛合金种植体表面的激光干涉纳米光刻系统在审
| 申请号： | 201710033379.X | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106842822A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李文君;王作斌;梁铂坚;曹亮;董莉彤;宋正勋;翁占坤;许红梅 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司11251 | 代理人： | 杨学明,顾炜 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一步 织构化 改性 钛合金 种植 体表 激光 干涉 纳米 光刻 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一步织构化改性钛合金种植体表面的激光干涉纳米光刻系统，其特征在于：包括激光器、分光系统、波片和偏振片镜组，分光系统包括分光镜和高反镜：激光器发出的一束激光，经分光系统分成二束相干光束，通过设计分光系统中分光镜和高反镜的位置和角度，使入射角θ1＝θ2＝θ，空间角通过波片和偏振片镜组，控制各相干光束的光强能量密度和偏振态，使光强能量密度比为1:1，偏振态为TE-TE，二个相干光束实现干涉，直接在钛合金种植体表面刻蚀出特征尺寸为100nm至20μm可调的凹槽结构。
2.根据权利要求1所述一步织构化改性钛合金种植体表面的激光干涉纳米光刻系统，其特征在于：所述激光器发出激光波长为1064nm，频率为10HZ，脉冲持续时间为7ns。
3.根据权利要求1所述一步织构化改性钛合金种植体表面的激光干涉纳米光刻系统，其特征在于：所述钛合金种植体表面为单纯柱状、螺纹柱状、螺纹根形表面。
4.根据权利要求1所述一步织构化改性钛合金种植体表面的激光干涉纳米光刻系统，其特征在于：直接在钛合金种植体表面刻蚀的时间为40s-60s。
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