[发明专利]聚酰亚胺湿敏材料及其在电容型湿度传感器的应用

权利要求书

1.聚酰亚胺湿敏材料，其特征在于该聚酰亚胺湿敏材料的化学结构式如下：

其中A和B均代表含氟基团，A和B的结构通式为C_nH_mF_2n-m+1，

聚酰亚胺湿敏材料的化学结构式中R的化学结构通式为：

其中R₉～R₁₄为氢原子、氟原子、三氟甲基、氰基、酰基、醛基、羧基、酰氨基、磺酸基、腈基、硝基、卤仿基或季胺基，R₉＇～R₁₂＇为与R₉～R₁₂相对应的原子或基团。

2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺湿敏材料，其特征在于含氟基团A为-F、-CHF₂、-CF₃或-C₂H₂F₃。

3.根据权利要求1所述的聚酰亚胺湿敏材料，其特征在于含氟基团B为-F、-CHF₂、-CF₃或-C₂H₂F₃。

4.根据权利要求1所述的聚酰亚胺湿敏材料的应用，其特征在于将聚酰亚胺湿敏材料作为感湿膜应用于电容型湿度传感器中。

5.根据权利要求4所述的聚酰亚胺湿敏材料的应用，其特征在于电容型湿度传感器包括下电极(2)、感湿膜(3)和上电极(4)，在衬底基片(1)上形成金属下电极(2)，在金属下电极(2)的表面涂覆形成感湿膜(3)，在感湿膜(3)的上表面形成金属上电极(4)。

6.根据权利要求5所述的聚酰亚胺湿敏材料的应用，其特征在于金属下电极(2)和金属上电极(4)的材质为金或铂。

7.根据权利要求5所述的聚酰亚胺湿敏材料的应用，其特征在于金属下电极(2)和金属上电极(4)的厚度各为0.5～1.5μm。

8.根据权利要求5所述的聚酰亚胺湿敏材料的应用，其特征在于感湿膜(3)的厚度为0.5～1.5μm。