[发明专利]一种大尺度自支撑铍薄膜的制备方法及装置有效
| 申请号： | 201710037031.8 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN106544629B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 李恺;吴卫东;罗炳池;罗江山;张吉强;谭秀兰;李文琦;金雷;何玉丹 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 绵阳市博图知识产权代理事务所(普通合伙) 51235 | 代理人： | 邓昉 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 支撑 薄膜 制备 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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