[发明专利]一种基于选择性波段的气体传感器及其检测方法

权利要求书

1.一种基于选择性波段的气体传感器，包括封装组件、金属氧化物传感器阵列和光源，所述封装组件将金属氧化物传感器阵列的氧化物敏感材料和光源封闭在一个密封空间内，封装组件包括进气口和出气口，其特征在于：光源是波长可变的光源或者波长范围固定不变的多个光源，光源的波段包括180-254nm波段、300-320nm波段、340-365nm波段、365-400nm波段和500-600nm波段，金属氧化物传感器阵列上设置有不同的氧化物敏感材料，在上述的某一波段的光的照射下，至少有一个金属氧化物传感器对某一种待测气体的灵敏度较高，对其他待测气体的灵敏度较低。

2.根据权利要求1所述的一种基于选择性波段的气体传感器，其特征在于：金属氧化物传感器阵列的金属氧化物敏感材料是ZnO、TiO₂、SnO₂、CuO、In₂O₃、NiO或者WO₃中的任一种。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于选择性波段的气体传感器，其特征在于：所述气体传感器包括第一金属氧化物传感器、第二金属氧化物传感器、第三金属氧化物传感器、第四金属氧化物传感器、第五金属氧化物传感器、第六金属氧化物传感器和第七金属氧化物传感器；

第一金属氧化物传感器的氧化物敏感材料是在300-320nm波段光照下对氨气具有高灵敏度的NiO；第二金属氧化物传感器的氧化物敏感材料是在340-365nm波段光照下对乙醇具有高灵敏度的SnO₂；第三金属氧化物传感器的氧化物敏感材料是在340-365nm波段光照下对NO₂具有高灵敏度的In₂O₃；第四金属氧化物传感器的氧化物敏感材料是在365-400nm波段光照下对甲醛具有高灵敏度的TiO₂，第五金属氧化物传感器的氧化物敏感材料是在365-400nm波段光照下对丙酮具有高灵敏度的ZnO；第六金属氧化物传感器的氧化物敏感材料是在500-600nm波段光照下对H₂S具有高灵敏度的CuO，第七金属氧化物传感器的氧化物敏感材料是在500-600nm波段光照下对氢气具有高灵敏度的WO₃。

4.根据权利要求3所述的一种基于选择性波段的气体传感器，其特征在于：所述气体传感器包括第八传感器和第九传感器，第八传感器的敏感材料是在500-600nm波段光照下对氨气具有高灵敏度氧化还原石墨烯，或者氧化还原石墨烯和金属氧化物的复合物；第九传感器的敏感材料是在500-600nm波段光照下对NO₂具有高灵敏度氧化还原石墨烯，或者氧化还原石墨烯和金属氧化物的复合物。

5.根据权利要求1所述的一种基于选择性波段的气体传感器，其特征在于：所述光源设置在二维平面上。

6.根据权利要求1所述的一种基于选择性波段的气体传感器，其特征在于：所述光源是贴片式光源或者光珠式光源。