[发明专利]以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法在审
申请号: | 201710037248.9 | 申请日: | 2017-01-18 |
公开(公告)号: | CN106784314A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 叶尚辉;郭丽峰;魏昂;周舟;黄维 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | H01L51/10 | 分类号: | H01L51/10;H01L51/40;H01L51/05 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 210023 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 相片纸 基底 有机 薄膜晶体管 制作方法 | ||
1.以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一:将相片纸分别用去离子水和氮气清理表面;
步骤二:将经过步骤一处理的相片纸置于培养皿中放入真空干燥箱加热;
步骤三:在经过步骤二处理的相片纸上打印银电极,将相片纸置于培养皿中放入真空干燥箱加热;
步骤四:在经过步骤三处理的相片纸上打印BFTII和氯仿的混合溶液,热退火,BFTII的分子结构如下:
步骤五:在经过步骤四处理的相片纸上打印介电层,将相片纸置于培养皿中放在真空干燥箱中加热;
步骤六:涂紫外固化胶进行紫外固化,盖上玻璃片后封装完毕。
2.根据权利要求1所述的以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,所述相片纸切割尺寸为1.6cm×1.4cm。
3.根据权利要求1所述的以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,步骤三中所述银电极为边栅结构,所述边栅结构包括栅极、漏极、源极和沟道,所述沟道长度为80μm,宽度为8000μm。
4.根据权利要求1所述的以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,步骤四中所述BFTII用氯仿做溶剂配成混合溶液的浓度为4mg/mL。
5.根据权利要求1所述的以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,步骤四中所述热退火温度为100℃,真空退火10分钟。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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