[发明专利]一种陷阱结构Ag/TiO2/Au涂层的制备方法有效
申请号: | 201710042284.4 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN106835078B | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 马建中;吴朵朵;鲍艳;崔万照;胡天存;杨晶 | 申请(专利权)人: | 陕西科技大学;西安空间无线电技术研究所 |
主分类号: | C23C18/04 | 分类号: | C23C18/04;C23C18/12;C23C18/44;C23F1/14 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 安彦彦 |
地址: | 710021 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 陷阱 结构 ag tio2 au 涂层 制备 方法 | ||
本发明公开了一种陷阱结构Ag/TiO2/Au涂层的制备方法,采用两步湿化学刻蚀法处理镀银铝合金表面,使镀银铝合金表面形成陷阱结构;继而在陷阱结构表面采用类化学镀法制备TiO2薄膜过渡层,以达到TiO2薄膜在陷阱结构表面的随形沉积;最后采用化学镀法在TiO2表面随形沉积Au薄膜,从而在镀银铝合金表面形成一种陷阱结构Ag/TiO2/Au涂层,提高镀银铝合金表面的二次电子抑制特性及其环境稳定性。
技术领域
本发明涉及一种陷阱结构Ag/TiO2/Au涂层的制备方法,特别涉及在镀银铝合金表面构筑陷阱结构Ag/TiO2/Au涂层,提高镀银铝合金表面的二次电子抑制特性及其环境稳定性。
背景技术
镀银铝合金作为目前卫星有效载荷系统中微波部件常用的基材,具有可以降低器件损耗的优点,但是在实际使用过程中,镀银部件在大功率电磁波传输条件下容易发生二次电子倍增即产生微放电效应,导致大功率微波部件失效。目前抑制微放电效应的方法主要包括在部件表面构筑涂层和在部件表面构筑陷阱结构等。
研究表明,在镀银铝合金表面制备具有低二次电子发射系数(SEY)的涂层材料,如氮化钛(TiN)、石墨化碳等,可有效抑制微放电效应,但该类涂层材料自身导电性差,使微波部件在高频条件下表面阻抗大。
文献“Controllable fabrication of one-dimensional ZnO nanoarrays andtheir application in constructing silver trap structures.RSC Advances.2014,4,33198–33205.”公开了一种以ZnO阵列为模板,通过电化学沉积方法在镀银铝合金表面制备陷阱结构银,可降低SEY至1.6以下,但该方法工艺过程较为繁琐。
文献“Investigation into anomalous total secondary electron yield formicro-porous Ag surface under oblique incidence conditions.Journal of AppliedPhysics.2013,114:1-9.”公开了一种操作简便且成本低的构筑陷阱结构银的方法,可降低镀银铝合金的SEY至1.2以下,但该方法对初始镀银铝合金的晶界结构有一定要求。此外,陷阱结构银的环境稳定性一般较差。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足,提供一种陷阱结构Ag/TiO2/Au涂层的制备方法,该方法简单,并且对初始镀银铝合金的晶界结构没有要求,同时既可以降低镀银铝合金的 SEY,又可以提高其环境稳定性。
为实现上述目标,本发明采用的技术方案是:
一种陷阱结构Ag/TiO2/Au涂层的制备方法,包括以下步骤:
(1)采用Fe(NO3)3水溶液对镀银铝合金进行刻蚀,刻蚀温度为45-55℃,刻蚀时间为35-45s,清洗后干燥;
重复步骤(1),在镀银铝合金表面形成陷阱结构;
(2)将表面形成陷阱结构的镀银铝合金浸渍于TBT溶液中10-30min,然后转移至去离子水中反应10-20min,最后煅烧;
(3)将步骤(2)煅烧后的镀银铝合金置于镀金液中在25-35℃下反应0.5-2h,清洗后干燥,得到陷阱结构Ag/TiO2/Au涂层。
本发明进一步的改进在于,所述Fe(NO3)3水溶液的质量分数为20%-40%。
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