[发明专利]一种制备亲疏图案的光刻方法有效
申请号: | 201710044839.9 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN107065444B | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 朱艳青;徐刚;史继富 | 申请(专利权)人: | 中国科学院广州能源研究所 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人: | 蒋欢妹;莫瑶江 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 亲疏 图案 光刻 方法 | ||
1.一种制备亲疏图案的光刻方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:首先在基底上涂覆一层带有图案的图案连接层,其次涂覆一层表面涂层,最后由紫外光或太阳光或可见光或红外光进行照射,得到亲疏图案;所述的基底的材料选自玻璃、金属、墙体、纸张、棉织物中的任一种;所述的图案连接层为具有图案的有机硅胶或硅氧烷;所述表面涂层为尺寸为10nm~10μm微纳二氧化钛颗粒或表面修饰有低表面能物质的微纳二氧化钛颗粒;所述的低表面能物质为氟硅烷或硅氧烷。
2.根据权利要求1所述的制备亲疏图案的光刻方法,其特征在于,所述的图案连接层的图案的制备方法为丝网印刷、点胶机或手动绘制。
3.根据权利要求1或2所述的制备亲疏图案的光刻方法,其特征在于,所述的低表面能物质为主链含碳原子数≥4的氟硅烷或硅氧烷。
4.根据权利要求3所述的制备亲疏图案的光刻方法,其特征在于,所述的低表面能物质为十三氟三乙氧基辛基硅烷、三乙氧基九氟己基硅烷。
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