[发明专利]一种产生三维等离子体光子晶体的方法有效
| 申请号： | 201710045610.7 | 申请日： | 2017-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN106842373B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 董丽芳;高星 | 申请（专利权）人： | 河北大学 |
| 主分类号： | G02B1/00 | 分类号： | G02B1/00;H05H1/24 |
| 代理公司： | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人： | 胡素梅;胡澎 |
| 地址： | 071002 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体光子晶体 三维 斜式 真空反应 水电极 直式 氩气 调制光束 放电电压 放电间隙 放电频率 放电气隙 光束调制 混合气体 能带结构 气体气压 三层玻璃 室内安装 高效化 可调谐 波段 带隙 三层 贴合 玻璃 室内 填补 发现 研究 | ||
1.一种产生三维等离子体光子晶体的方法，包括如下步骤：
a、设置一个真空反应室，并在所述真空反应室内安装两个水电极，同时将所述水电极与等离子体发生电源电连接；
b、在两个所述水电极之间设置有左、中、右三层依序叠加贴合的玻璃，在三层玻璃上制有空腔截面呈H型结构的放电间隙，左、中、右三层玻璃分别与两个所述水电极的轴心线相垂直；
c、向所述真空反应室内注入空气和氩气的混合气体作为放电气体；
d、调整真空反应室内放电气体的气压；
e、闭合开关，使等离子体发生电源作用于两个所述水电极，即可在两个所述水电极之间产生直式等离子体光子晶体；
其特征是，
步骤c中,放电气体中氩气体积占混合气体体积的1%~10%；
步骤d中,通过调整使得真空反应室内放电气体的气压大于0.1atm且小于0.2atm；
步骤e中，即可在两个所述水电极之间产生直式和斜式等离子体光子晶体并存的三维等离子体光子晶体。
2.根据权利要求1所述的产生三维等离子体光子晶体的方法，其特征是，所述等离子体发生电源的放电电压为1.5kV~5.0kV；所述等离子体发生电源的放电频率为50kHz~55kHz。
3.根据权利要求2所述的产生三维等离子体光子晶体的方法，其特征是，所述等离子体发生电源的放电电压为2.2kV~2.8kV；所述等离子体发生电源的放电频率为54kHz。
4.根据权利要求1所述的产生三维等离子体光子晶体的方法，其特征是，在真空反应室外由混合气体配比器配制空气和氩气的混合气体，然后将配制后的混合气体作为放电气体注入真空反应室内。
5.根据权利要求1所述的产生三维等离子体光子晶体的方法，其特征是，步骤d中通过调整使得真空反应室内放电气体的气压为0.12atm。
6.根据权利要求1所述的产生三维等离子体光子晶体的方法，其特征是，步骤c中向真空反应室内注入的放电气体中，氩气体积占混合气体体积的5%。
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