[发明专利]新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法在审
| 申请号： | 201710046671.5 | 申请日： | 2008-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN106986792A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 羽田英夫;内海义之;石塚启太;松泽贤介;金子文武;大下京子;清水宏明;吉井靖博 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | C07C303/32 | 分类号： | C07C303/32;C07C309/17;C07C381/12;C07D493/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 化合物 及其 制造 方法 产酸剂 抗蚀剂 组合 以及 图案 形成 | ||
【权利要求书】：
1.一种化合物，其由下述通式(b0-1-12)表示，
式中，Rc为包含选自-O-、-C(＝O)-O-、-S-、-S(＝O)2-及-S(＝O)2-O-中的至少一种的碳原子数为5～20的烃基；Q4为单键或亚烷基；n为1；Y1是碳原子数为1～4的亚烷基或氟代亚烷基；R3～R6分别独立地为氢原子或可以具有取代基的烃基，R3～R6中的至少1个为所述烃基，R3～R6中的至少2个可以分别键合成环。
2.一种化合物的制造方法，其包括：通过使下述通式(1-13)表示的化合物(1-13)与铵盐反应来得到下述通式(1-14)表示的化合物(1-14)的工序，
式中，Rc是包含选自-O-、-C(＝O)-O-、-S-、-S(＝O)2-及-S(＝O)2-O-中的至少一种的碳原子数为5～20的烃基；
Q4是单键或亚烷基，n为1；
Y1是碳原子数为1～4的亚烷基或氟代亚烷基；R3～R6分别独立地为氢原子或可以具有取代基的烃基，R3～R6中的至少1个为所述烃基，R3～R6中的至少2个可以分别键合成环；M+为碱金属离子。
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