[发明专利]磨抛夹具有效
申请号: | 201710048549.1 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN106695554B | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 孔金霞;刘素平;马骁宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张宇园 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹具 | ||
本发明提供了一种磨抛夹具,包括:限位柱套、N个固定柱和M个限位柱;限位柱套的内部开有N个贯穿限位柱套的固定孔;N个固定柱分别安装在所述固定孔中,其直径与所述固定孔的直径相匹配,并可在所述固定孔内上下滑动和自由转动;所述固定柱下方设置至少三个限位柱,其中,所述限位柱设置在相应固定柱的下端平面上,其延伸方向与固定柱的下端平面垂直;其中,磨抛产品夹设于其中之一的固定柱下方至少三个限位柱之间。该磨抛夹具可以根据单管芯激光二极管的尺寸变化自由调节,使用简单方便;该磨抛夹具还可以对多个磨抛产品同时进行磨抛,磨抛效率高,并且可以达到很好的磨抛均匀性。
技术领域
本发明涉及半导体激光二极管加工测试技术领域,特别是指制备电致发光样品时采用的磨抛夹具。
背景技术
大功率激光二极管应用非常广泛,比如用作泵浦源、材料加工、医疗设备、红外照明等。对大功率激光二极管进行失效分析,找到失效原因,针对容易产生失效的工艺过程进行优化改进,从而提高大功率激光二极管的可靠性。电致发光是大功率激光二极管失效分析的有效手段之一,电致发光样品的制备是非常关键的一步。单管芯激光二极管形状为多边形、体积小形状复杂,尤其是烧结在陶瓷过渡热沉上的单管芯激光二极管体积更小,更不方便固定,必须采用特殊设计的夹具上方可进行样品制备,满足研发测试的需求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种磨抛夹具,不但可以同时对多个磨抛产品进行磨抛,还能够适应磨抛产品的尺寸与形状的变化,在不更换磨抛夹具的情况下快速夹装固定。
鉴于上述技术问题,本发明提供了一种磨抛夹具,包括:限位柱套、N个固定柱和M个限位柱。其中,限位柱套的内部开有N个贯穿限位柱套的固定孔。N个固定柱分别安装在固定孔中,其直径与固定孔的直径相匹配,并可在固定孔内上下滑动和自由转动。其中,M个限位柱,每个固定柱下方设置至少三个限位柱;限位柱设置在相应固定柱的下端平面上,其延伸方向与固定柱的下端平面垂直。其中,磨抛产品夹设于其中之一的固定柱下方至少三个限位柱之间。
优选地,本发明磨抛夹具中,限位柱的形状为柱状。
优选地,本发明磨抛夹具中,固定柱的上端安装有提拉杆。
优选地,本发明磨抛夹具中,提拉杆上套有重力盘。
优选地,本发明磨抛夹具中,限位柱套,固定安装在磨抛机的机架上,限位柱套的下平面与磨抛盘平行安装。
优选地,本发明磨抛夹具中,在磨抛工作开始时,所述限位柱的下柱面与磨抛盘之间留有间隙;在固定柱压力的作用下,磨抛产品的磨抛面与磨抛盘紧贴,固定柱在磨抛盘的带动下在固定孔中自转。
优选地,本发明磨抛夹具中,限位柱为偏心限位柱。偏心限位柱包括下柱体和上偏心柱体,其中,下柱体安装在固定柱的下端平面上的盲孔中,下柱体上开有环形限位槽。固定柱的柱体上开有螺孔,该螺孔中安装有定位螺栓;该定位螺栓的前端穿过螺孔,卡在环形限位槽中。
优选地,本发明磨抛夹具中,限位柱为轴转限位柱。轴转限位柱安装在固定柱的下端平面上,轴转限位柱的下端柱体,安装在固定柱下端平面的盲孔中。轴转限位柱的下端柱体上开有环形限位槽,固定柱的柱体上开有螺孔,该螺孔中安装有定位螺栓;该定位螺栓的前端穿过螺孔,卡在环形限位槽中。
优选地,本发明磨抛夹具中,轴转限位柱的上柱体上,开有至少一个接触平面,接触平面与磨抛产品的壁面接触安装。
优选地,本发明磨抛夹具中,轴转限位柱的上柱体上,开有若干个接触平面,每个接触平面到轴转限位柱柱心线的垂直距离不相等。
优选地,本发明磨抛夹具中,轴转限位柱上柱体的接触平面上标有刻度数值。
优选地,本发明磨抛夹具中,磨抛产品为单管芯激光二极管。
基于以上技术方案,本发明磨抛夹具至少具有以下有益效果其中之一:
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