[发明专利]一种水平直线度测量装置及其方法

权利要求书

1.一种水平直线度测量装置，其特征在于，包括支座、导轨、气浮上滑台、固定组件、平面平晶、第一电位传感器、第二电位传感器、调节装置和探头，所述气浮上滑台可滑动安装于所述导轨上，所述导轨固定安装于所述支座上；所述平面平晶固定安装于所述固定组件上，所述平面平晶的工作面与固定组件的侧面平行；所述固定组件设于所述气浮上滑台上，所述第一电位传感器和第二电位传感器分别正对于所述固定组件侧面的首、尾端设置；在所述固定组件侧面的首、尾端分别与第一电位传感器和第二电位传感器之间距离不相等时，所述调节装置顶压所述固定组件滑动而调节固定组件侧面的首端或尾端；所述探头与所述平面平晶的工作面相接触；

所述固定组件包括第一连接块、第二连接块和垫块，所述第一连接块通过垫块与所述第二连接块可拆卸连接，所述第一连接块与第二连接块的上部设有用于安装所述平面平晶的凹槽；所述垫块配套有多个，且与平面平晶厚度相适应，所述第一连接块通过相应的垫块与所述第二连接块连接而将凹槽与平面平晶相适应；

所述第一连接块和第二连接块上设有用于将第一连接块和第二连接块分开或吸附在一起的磁吸装置；

所述调节装置包括第一电机、第二电机、第一顶块和第二顶块，所述第一电机和第二电机的输出轴分别通过第一顶块和第二顶块顶压固定组件侧面的首、尾端；所述第一电位传感器和第二电位传感器分别固定安装于所述第一顶块和第二顶块上。

2.根据权利要求1所述的一种水平直线度测量装置，其特征在于，所述支座上可拆卸安装有支架，所述探头固定安装于所述支架上。

3.根据权利要求2所述的一种水平直线度测量装置，其特征在于，所述支架通过磁座可拆卸安装于所述支座上。

4.根据权利要求2所述的一种水平直线度测量装置，其特征在于，所述第一电机和第二电机为音圈电机。

5.根据权利要求1所述的一种水平直线度测量装置，其特征在于，所述探头为测微仪探头。

6.基于权利要求1至5任一项所述的一种水平直线度测量装置的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)控制器通过第一电位传感器和第二电位传感器分别测出其各自到固定组件侧面的首、尾端的距离；

2)以两距离差值的二分之一为依据，控制器控制距离较小的电位传感器的顶块压固定组件的首端或尾端；

3)重复步骤1)和2)，直到两距离相等；

4)控制器控制气浮上滑台单向行进，通过探头测出相应的位移数据，则可得到直线度值。

7.根据权利要求6所述的一种水平直线度测量装置的测量方法，其特征在于，所述步骤4)的具体内容为：

控制器控制气浮上滑台单向行进100mm，每间隔10mm停留3s，停留期间待探头测得的读数稳定后，将采集的位移数据传输给控制器；从测出的位移数据中找出最大值和最小值，进行加减运算并取绝对值。