[发明专利]设备供水温度控制装置及控制方法

权利要求书

1.一种设备供水温度控制装置，其特征在于，包括供水单元，用于提供冷却水；温度控制单元，用于探测所述供水单元提供的冷却水的温度，并根据用水设备单元的用水需求，调制温度，为所述用水设备单元提供精确温控的循环水，还包括混流匀温单元，设置于所述供水单元与所述温度控制单元之间，用于对所述供水单元提供的冷却水进行匀化处理，其中，所述温度控制单元包括温度传感器、控制器、热交换器以及水箱，所述循环水在所述水箱和所述用水设备单元之间循环流动，所述冷却水和所述循环水在所述热交换器内进行热交换，所述冷却水带走所述温度控制单元控温过程需要散发的热量，所述温度传感器固定于所述冷却水进入所述热交换器的入口处，所述温度传感器的输出信号与所述控制器的输入端相连，所述用水设备单元与所述水箱之间还设有制冷装置和加热装置，所述控制器的输出端与所述制冷装置和加热装置分别相连。

2.如权利要求1所述的设备供水温度控制装置，其特征在于，所述混流匀温单元包括支架，以及固定于所述支架上的混流腔体，所述混流腔体上设有进水接口和出水接口，用于与所述供水单元和所述温度控制单元连通，所述混流腔体内设有若干混流挡板。

3.如权利要求2所述的设备供水温度控制装置，其特征在于，所述混流挡板间隔交错固定于所述混流腔体相对应的两个侧壁上，在所述混流腔体内形成从所述进水接口到所述出水接口的折返水道。

4.如权利要求2所述的设备供水温度控制装置，其特征在于，所述进水接口和出水接口的数量均为多个。

5.如权利要求1所述的设备供水温度控制装置，其特征在于，所述供水单元为冷水机。

6.如权利要求1所述的设备供水温度控制装置，其特征在于，所述用水设备单元为曝光单元。

7.一种设备供水温度控制方法，其特征在于，供水单元提供的冷却水与用水设备单元提供的循环水在温度控制单元内进行热交换，所述冷却水进入所述温度控制单元前先利用混流匀温单元进行匀化处理，所述温度控制单元探测所述供水单元提供的冷却水的温度，并根据用水设备单元的用水需求，调制温度，为所述用水设备单元提供精确温控的循环水，其中，所述温度控制单元包括温度传感器、控制器、热交换器、制冷装置、加热装置以及水箱，所述水箱、所述制冷装置、所述加热装置以及所述用水设备单元依次连接形成回路，所述循环水在所述回路内循环流动，所述冷却水和所述循环水在所述热交换器内进行热交换，所述冷却水带走所述温度控制单元控温过程需要散发的热量，所述温度传感器检测所述冷却水进入所述热交换器前的温度，将该温度信号传递至所述控制器，所述控制器对所述制冷装置和加热装置进行控制。

8.如权利要求7所述的设备供水温度控制方法，其特征在于，所述控制器采用前馈控制算法对所述制冷装置和加热装置进行控制。

9.如权利要求8所述的设备供水温度控制方法，其特征在于，所述前馈控制算法采用增量式PI控制算法。

10.如权利要求8所述的设备供水温度控制方法，其特征在于，所述控制器实时读取所述冷却水的温度并计算出热量补偿值，并根据所述补偿值调节所述制冷装置和加热装置的输出温度。