[发明专利]一种防尘表面的制备方法有效
申请号: | 201710049332.2 | 申请日: | 2017-01-23 |
公开(公告)号: | CN107058980B | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 宗坚 | 申请(专利权)人: | 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/513 | 分类号: | C23C16/513 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心21200 | 代理人: | 梅洪玉 |
地址: | 214183 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防尘 表面 制备 方法 | ||
1.一种防尘表面的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)将基材置于等离子体室的反应腔体内,对反应腔体连续抽真空,将反应腔体内的真空度抽到10-200毫托,通入惰性气体或氮气;
(2)通入单体蒸汽到真空度为30-300毫托,开启等离子体放电,等离子体放电的功率为2~150W,放电时间为600~7200s,进行化学气相沉积,制备致密涂层;致密涂层沉积完成后,调节等离子体放电的功率为160~500W,放电时间为60~1000s,进行化学气相沉积,制备粗糙涂层;在基材表面上制备内层为致密涂层、外层为粗糙涂层的防尘表面;
所述步骤(2)中通入的单体蒸汽成分为:
至少一种单官能度不饱和氟碳树脂和至少一种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物,所述单体蒸汽中多官能度不饱和烃类衍生物所占的质量分数为10%-80%;
(3)停止等离子体放电,停止通入单体蒸汽,持续抽真空,保持反应腔体真空度为10-200毫托1-5min后通入大气至一个大气压,然后取出基材即可;
所述单官能度不饱和氟碳树脂包括:
3-(全氟-5-甲基己基)-2-羟基丙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟癸基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟己基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟十二烷基)乙基丙烯酸酯、2-全氟辛基丙烯酸乙酯、、1H,1H,2H,2H-全氟辛醇丙烯酸酯、2-(全氟丁基)乙基丙烯酸酯、(2H-全氟丙基)-2-丙烯酸酯、(全氟环己基)甲基丙烯酸酯、3,3,3-三氟-1-丙炔、1-乙炔基-3,5-二氟苯或4-乙炔基三氟甲苯;
所述多官能度不饱和烃类衍生物包括:
乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、二缩三丙二醇二丙烯酸酯、二乙烯苯、聚乙二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、二丙烯酸乙二醇酯、二乙二醇二乙烯基醚或二丙烯酸新戊二醇酯。
2.根据权利要求1所述的一种防尘表面的制备方法,其特征在于:所述步骤(1)中基材为固体材料,所述固体材料包括太阳能电池板、LED显示屏、玻璃制品、家用电器、纺织品或3C产品。
3.根据权利要求1所述的一种防尘表面的制备方法,其特征在于:所述步骤(1)中等离子体室的容积为50-1000L,等离子体室的温度控制在30~60℃;通入惰性气体或氮气的流量为5~300sccm,所述惰性气体为氩气或氦气中的一种,或氩气和氦气的混合物。
4.根据权利要求1所述的一种防尘表面的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中:
通入单体蒸汽为将单体通过加料泵进行雾化、挥发,由低压10-200毫托引入反应腔体,所述通入单体蒸汽的流量为10-1000μL/min;
5.根据权利要求1所述的一种防尘表面的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中通入单体蒸汽之前进行辉光放电对基材进行轰击预处理。
6.根据权利要求1所述的一种防尘表面的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中所述等离子体放电方式为射频放电、微波放电、中频放电或电火花放电。
7.根据权利要求6所述的一种防尘表面的制备方法,其特征在于:所述等离子体射频放电过程中控制等离子体射频的能量输出方式为脉冲或连续输出,等离子体射频的能量输出方式为脉冲输出时,脉宽为2μs-1ms、重复频率为20Hz-10kHz。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏菲沃泰纳米科技有限公司,未经江苏菲沃泰纳米科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710049332.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种防水耐电击穿涂层的制备方法
- 下一篇:一种低粘附、耐蚀涂层的制备方法
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的