[发明专利]TFT减薄抛光用吸附垫

权利要求书

1.TFT减薄抛光用吸附垫，其特征在于：所述吸附垫从下到上依次设有离型纸、双面胶、PET膜、双面胶、含氟聚氨酯多孔膜以及保护膜；所述含氟聚氨酯多孔膜从上到下依次是表面吸附层、第一发泡层、第二发泡层、第三隔离层以及第四发泡层，所述表面吸附层为致密层；所述第一发泡层以及第二发泡层均为水滴形多孔状结构，所述第二发泡层的水滴形孔大于第一发泡层的水滴形孔；所述第四发泡层为平均孔径在200-400μm的椭圆形多孔状结构，所述第三隔离层为孔径2-20μm的圆形微米孔形成的网状孔结构；

所述吸附垫的加工工艺，步骤如下：

1）将PET膜通过双面胶进行粘贴在含氟聚氨酯多孔膜的下方；

2）将含氟聚氨酯多孔膜放置在滚筒式热压机中，并对含氟聚氨酯多孔膜的上方进行热压；将热压后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加热装置中进行加热10-15秒，将保护膜进行加热，并将保护膜通过热压20-40秒，并将保护膜热压至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜复合板；

3）将含氟聚氨酯多孔膜复合板裁切成一定的尺寸；

4）将含氟聚氨酯多孔膜复合板表面进行加工、剪裁，得到研磨层加工板；

5）将离型纸通过双面胶进行粘贴在含氟聚氨酯多孔膜复合板的下端，即得到吸附垫半成品；

6）将吸附垫半成品的边缘进行裁切，并将多余部分去除，得到TFT减薄抛光用吸附垫。

2.根据权利要求1所述的TFT减薄抛光用吸附垫，其特征在于，所述PET膜的加工工艺如下：

（1）将硅酸钠15-20份、乙烯基三异丙烯氧基硅烷3-9份、有机硅胶树脂30-55份进行混合，并在80℃下进行搅拌10-15分钟，将甲基乙烯基硅橡胶4-7份加热至118-120℃后加入至混合物中，并在60-105℃下进行反应4-9分钟；

（2）将交联剂6-8份、成膜助剂11-17份、耐高温填充剂6-13份、阻燃剂4-8份、抗氧剂2-6份在65-70℃下进行搅拌；

（3）将步骤（1）的混合物放入至离心机中，并在85-97℃下进行反应20-30分钟后，将离心后的混合液放入至烘箱内，并在90-100℃下进行烘干1-3分钟；

（4）将步骤（3）的混合物放在90-105℃的离心机中进行搅拌，并在搅拌的过程中加入步骤（2）反应后的混合物；

（5）将上述步骤中制得的溶液均匀涂抹在膜载体表面，通过加热至50-53℃后进行固化，将加热之后的膜载体静置6-8小时，待膜载体冷却至室温后，将薄膜从膜载体上剥离；

（6）将纳米二氧化钛4-6份、二氧化硅2-5份、硼酸锌1-4份进行混合后，加入甘油5-8份、乙醇15-20份进行搅拌，并在95-120℃下进行搅拌14-20分钟后，将混合物放入至离心装置中进行离心过滤，将过滤物在常温下进行静置30-45分钟；

（7）将步骤（6）反应后的过滤物放入乙醇、丙酮中进行混合，并对混合物进行通电；

（8）将步骤（5）生成的膜放入至电晕装置内进行电晕，并将电晕后的膜放入至步骤（7）的混合物中，并静置12-18分钟后，将膜取出并静置45-60分钟后，将膜放置在烘干装置中，并进行烘干8-10分钟；

（9）将二氧化硅1-5份、甲基乙烯基硅橡胶4-6份、硅酸钠2-3份、热稳定剂3-7份进行混合后，加入去离子水30-45份、粘合剂1-2份后搅拌22-27分钟后，将混合物放入至超声装置中进行超声分散4-7分钟后，向混合物中加入乙醇5-9份，并将混合物在30-35℃下进行陈化2-4小时后，将混合物放入离心装置中进行过滤，并将过滤物加热至50-60℃；

（10）将步骤（8）反应后的膜放入至110-125℃的热压机中进行热压，将步骤（9）反应后的过滤液放入至高压喷射装置中，并向热压后的反应膜进行喷射，并将经过步骤（9）反应后的混合液喷至膜的两侧后，常温下静置40-60分钟后，放入至烘干装置中进行烘干30-40分钟，即可得到PET膜。

3.根据权利要求1所述的TFT减薄抛光用吸附垫，其特征在于：所述步骤2）中含氟聚氨酯多孔膜的上方进行热压的温度为55-65℃。

4.根据权利要求1所述的TFT减薄抛光用吸附垫，其特征在于：所述步骤2）中加热装置的温度为100-115℃。