[发明专利]真空压力控制装置

说明书

本发明提供真空压力控制装置，使得即使弹性密封部件劣化也不会发生内部泄漏。真空压力控制装置(1)具有：形成有阀座(7a)的环状弹性密封部件(7)；和与阀座(7a)抵接或离开的双偏心蝶阀阀芯(9)，该真空压力控制装置位于连接真空容器(27)与真空泵(28)的配管上，并通过使蝶阀阀芯(9)沿第一方向(E)旋转来使真空容器(27)内的真空压力变化，该真空压力控制装置(1)具有控制基板(13)，该控制基板(13)使蝶阀阀芯(9)沿第一方向(E)的反方向(F)旋转，使蝶阀阀芯(9)位于与初始的第一闭阀位置不同的第二闭阀位置。

技术领域

本发明涉及真空压力控制装置，该真空压力控制装置具有阀座形成为环状的弹性密封部件、和与阀座抵接或离开的双偏心蝶阀阀芯，该真空压力控制装置位于连接真空容器与真空泵的配管上，并通过使蝶阀阀芯向第一方向旋转来使真空容器内的真空压力变化。

背景技术

作为以往使用的真空压力控制装置，例如有本申请人所申请的专利文献1。该真空压力控制装置的提升阀虽然适于真空压力控制，但是存在流导小、无法紧凑化的问题。

因此，为了使流导增大并进一步在大气压附近进行控制，考虑采用双偏心蝶阀。在真空下进行压力控制时，需要通过阀关断位置附近的微妙的开度来进行控制，阀的上游与下游的压力差越大越有问题。

此处，采用双偏心蝶阀是为了：在阀关断位置附近，能够使阀的开度相对于阀芯的旋转角度慢慢地变化，从而容易进行关断位置附近的压力控制。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-148254号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，通常会为了防止杂质附着于阀座而对阀体加热，但是在蝶阀中，存在形成有阀座的弹性密封部件劣化而发生内部泄漏的担心。当真空压力控制装置被使用在半导体制造工序中的情况下，由于存在使用毒性气体的情况，所以在异常停止时，为了确保安全，不得存在泄漏。

本发明正是为了解决上述问题点，其目的在于提供即使弹性密封部件劣化也不会发生内部泄漏的真空压力控制装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明一方式的真空压力控制装置具有：形成有阀座的环状弹性密封部件；和与阀座抵接或离开的双偏心蝶阀阀芯，该真空压力控制装置位于连接真空容器与真空泵的配管上，并通过使蝶阀阀芯从作为初始状态的第一闭阀位置沿第一方向旋转来使真空容器内的真空压力变化，该真空压力控制装置的特征在于，具有控制装置，该控制装置使蝶阀阀芯沿第一方向的反方向旋转，使蝶阀阀芯位于与第一闭阀位置不同的第二闭阀位置。

此处，所谓第一方向，是指使双重偏心了的蝶阀阀芯的外周的具有一半以上的部分从阀座离开的方向。因此，蝶阀阀芯的外周的较短部分成为与阀座抵接的方向。

发明效果

根据上述方式，真空压力控制装置即使弹性密封部件劣化，也能够通过将蝶阀阀芯设定于第二闭阀位置而形成闭阀状态，因此没有发生内部泄漏的担心。即使是真空压力控制装置被使用在半导体制造工序中的情况下，也能够在异常停止时确保安全。

附图说明

图1示出蝶阀阀芯位于第一闭阀位置的状态，是图5的AA剖视图。

图2示出蝶阀阀芯位于第二闭阀位置的状态，是图5的AA剖视图。

图3示出蝶阀阀芯位于第一开阀位置的状态，是图5的AA剖视图。

图4示出蝶阀阀芯位于第二开阀位置的状态，是图5的AA剖视图。

图5是第一实施方式的真空压力控制装置的剖视图。