[发明专利]一种直写曝光设备的正交性实时监测及校正方法

权利要求书

1.一种直写曝光设备的正交性实时监测及校正方法，其特征在于：在直写曝光设备的吸盘上加装四个标准标记点，在曝光设备的运行工作时间超过预设时间后，通过曝光设备上的高精度相机CCD，分别抓取其中三个标记点的坐标，通过坐标点计算出直写曝光设备X方向与Y方向的正交性误差，根据正交性误差自动计算出直写曝光设备在X方向与Y方向的两个补偿系数，并自动实时监测以及校正曝光设备的正交性；

所述正交性误差的计算步骤，具体如下：

1)在曝光设备的XY坐标系下，通过曝光设备上的CCD，抓取其中三个标记点的坐标分别记为P₁(X1，Y1),P₂(X2，Y2),P₃(X3，Y3)；

2)P₁与P₂之间的向量为P₂与P₃之间的向量为在X方向和Y方向的夹角为θ，其中为两个向量的内积，为两个向量的模的乘积；

3)直写曝光设备X与Y方向的正交性误差为|θ-90°|。

2.根据权利要求1所述的直写曝光设备的正交性实时监测及校正方法，其特征在于：曝光设备的实际坐标系为XY，标准直角坐标系为X ’ Y ’ ，在直写曝光坐标系XY中的坐标为(X,Y)，转换到标准直角坐标系X ’ Y ’ 下的坐标为(X ’ ,Y ’ )，其中X ’ ＝X，Y ’ ＝Y+tan(θ-90°)·X；根据上述转换公式，自动将目标位置从曝光设备的实际坐标系XY转换到标准直角坐标系X ’ Y ’ ，保证曝光设备的正交性。