[发明专利]激光位移传感器有效
申请号: | 201710052240.X | 申请日: | 2017-01-22 |
公开(公告)号: | CN106855391B | 公开(公告)日: | 2019-07-26 |
发明(设计)人: | 王雷;谭波 | 申请(专利权)人: | 宁波舜宇智能科技有限公司;余姚舜宇智能光学技术有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人: | 陆鑫;延慧 |
地址: | 315400 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 位移 传感器 | ||
1.一种激光位移传感器,包括激光器、成像物镜以及感光元件,所述激光器用于射出激光束,由所述成像物镜接收并出射的光入射到所述感光元件,其特征在于,在对所述成像物镜和所述感光元件进行调制传递函数MTF解析时,解析结果满足以下条件:
在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,MTFS>MTFT;
在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,MTFT>MTFS;
其中,MTFS为弧矢方向上的MTF值,MTFT为子午方向上的MTF值;
在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,所述成像物镜本身的MTFS>MTFT;或者,在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,所述成像物镜本身的MTFT>MTFS,使得所述解析结果满足所述条件;和/或
在所述成像物镜前和/或在所述成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件,并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离,使得所述解析结果满足所述条件。
2.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS>MTFT×10;如果所述多个感光单元的主要排列方向为子午方向,则MTFT>MTFS×10。
3.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS≥0.5,MTFT<0.05;如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFT≥0.5,MTFS<0.05。
4.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:
反光元件,所述反光元件设置在所述成像物镜的出射光路上,所述成像物镜的出射光经所述反光元件反射后,入射到所述感光元件。
5.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:
带通滤光片,设置于所述成像物镜的入射光路上。
6.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:
聚焦透镜,设置于所述激光器的出射光路上。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光位移传感器,其特征在于,所述感光元件为线阵感光元件,所述线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列,该直线的延伸方向为所述多个感光单元的主要排列方向。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的激光位移传感器,其特征在于,所述感光元件为面阵感光元件,所述面阵感光元件包括以矩形排列的多个感光单元,所述面阵感光元件的长边延伸方向为所述多个感光单元的主要排列方向。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的激光位移传感器,其特征在于,所述成像物镜为单一镜片,且所述成像物镜的物侧面和像侧面皆为非球面;或者,所述成像物镜为多个透镜组成的透镜组。
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