[发明专利]硅基悬臂梁耦合间接加热式毫米波信号检测仪器

权利要求书

1.一种硅基悬臂梁耦合间接加热式毫米波信号检测仪器，其特征是：该信号检测仪器包括传感器、单片机和液晶显示屏三个部分；传感器由悬臂梁耦合结构（17）、功率合成器/分配器、间接加热式微波功率传感器和开关构成；其中，悬臂梁耦合结构（17）上下、左右对称，由CPW中央信号线（3）、传输线地线（4）、悬臂梁（5）、悬臂梁锚区（6）构成，悬臂梁（5）置于CPW中央信号线（3）的上方，在悬臂梁（5）的下方有一层Si₃N₄介电层（15）覆盖CPW中央信号线（3）；待测信号由悬臂梁耦合结构（17）的第一端口（1-1）输入，第二端口（1-2）接第一间接加热式微波功率传感器；上方两个悬臂梁（5）耦合的信号由第三端口（1-3）和第四端口（1-4）输出，第三端口（1-3）与第一开关（18）的第七端口（2-1）相连，第四端口（1-4）与第二开关（19）的第十端口（3-1）相连，第一开关（18）的第八端口（2-2）与第二间接加热式微波功率传感器相连，第一开关（18）的第九端口（2-3）与第一功率合成器的第十三端口（4-1）相连，第二开关（19）的第十一端口（3-2）与第三间接加热式微波功率传感器相连，第二开关（19）的第十二端口（3-3）与第一功率合成器的第十四端口（4-2）相连，最后，第一功率合成器的第十五端口（4-3）接第四间接加热式微波功率传感器；下方两个悬臂梁（5）耦合的信号由第五端口（1-5）和第六端口（1-6）输出，第五端口（1-5）与第二功率合成器的第十九端口（6-1）相连，第六端口（1-6）与第三功率合成器的第二十二端口（7-1）相连，参考信号从功率分配器的第十六端口（5-1）输入，功率分配器的第十七端口（5-2）与第二功率合成器的第二十端口（6-2）相连，第十八端口（5-3）与第三功率合成器的第二十三端口（7-2）相连，第二功率合成器的第二十一端口（6-3）接第五间接加热式微波功率传感器，第三功率合成器的第二十四端口（7-3）接第六间接加热式微波功率传感器；所有微波功率传感器的输出端都连接到MCS51单片机。

2.根据权利要求1所述的一种硅基悬臂梁耦合间接加热式毫米波信号检测仪器，其特征是：间接加热式微波功率传感器由CPW中央信号线（3）、传输线地线（4）、终端电阻（9）、P型半导体臂(10)、N型半导体臂(11)、热电堆金属互连线((12)、输出Pad(13)构成，用于检测微波信号的功率大小，在终端电阻(9)和热电堆热端下方的Si衬底被刻蚀，用于增大传感器的灵敏度。