[发明专利]固支梁T型结间接加热式微波信号检测器

说明书

本发明的固支梁T型结间接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器，通道选择开关，微波频率检测器，微波相位检测器级联构成；六端口固支梁耦合器由共面波导，介质层，空气层和固支梁构成；六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度相同，待测信号经第一端口输入，由第二端口输出到第一间接加热式微波功率传感器，由第四端口和第六端口输出到微波相位检测器；由第三端口和第五端口输出到通道选择开关；通道选择开关的第七端口和第八端口分别接间接加热式微波功率传感器，通道选择开关的第九端口和第十端口接微波频率检测器；从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测。

技术领域

本发明提出了固支梁T型结间接加热式微波信号检测器，属于微电子机械系统的技术领域。

背景技术

微波信号相位测量在微波测量中占有十分重要的地位。随着频率的增加，信号的波长与电路中各种元器件尺寸逐步接近，电路中电压、电流都以波的形式存在，信号的相位延迟使得电路中不仅不同位置处的电压、电流在同一时刻振幅各不相同，而且同一位置处的电压、电流在不同时刻也各不相同。因此在微波频段掌握并控制信号的相位是很有必要的。本发明即是基于Si工艺设计一种单个芯片同时实现检测微波功率、相位、频率的固支梁T型结间接加热式微波信号检测器。

发明内容

技术问题：本发明的目的是提供一种固支梁T型结间接加热式微波信号检测器，应用六端口固支梁耦合器端口来耦合连接不同的检测功能模块，从而实现了一个芯片同时对微波信号的功率、相位、频率三种微波参量的检测、具有低功耗、低成本的益处。

技术方案：本发明的固支梁T型结间接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器，通道选择开关，微波频率检测器，微波相位检测器组成；

六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度相同，待测信号经第一端口输入，由第二端口输出到第一间接加热式微波功率传感器，由第四端口和第六端口输出到微波相位检测器的第一T型结功率合成器和第二T型结功率合成器，并由第一T型结功率合成器和第二T型结功率合成器接第四间接加热式微波功率传感器和第五接加热式微波功率传感器；由第三端口和第五端口输出到通道选择开关；通道选择开关的第七端口和第八端口分别接第二间接加热式微波功率传感器和第三间接加热式微波功率传感器，通道选择开关的第九端口和第十端口接微波频率检测器的第三T型结功率合成器，由第三T型结功率合成器接第六间接加热式微波功率传感器；从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测。

其中，六端口固支梁耦合器由共面波导，介质层，空气层和横跨在其上方固支梁构成；共面波导制作在SiO₂层上，锚区制作在共面波导上，固支梁的下方沉积介质层，并与空气层、固支梁共同构成耦合电容结构，两个固支梁之间的共面波导长度为λ/4；

有益效果：

1)本发明的固支梁T型结间接加热式微波信号检测器将微波信号的功率、相位、频率三种测模块集成到一起，应用六端口固支梁耦合器的固支梁来耦合输入信号到不同的检测功能模块，实现了一个芯片同时对微波信号的功率、相位、频率三种微波参量的检测、具有低功耗、低成本的益处；

2)本发明的固支梁T型结间接加热式微波信号检测器应用间接加热式微波功率传感器检测微波信号的功率，具有较好的微波特性且无直流功耗；

3)本发明的固支梁T型结间接加热式微波信号检测器采用T型结实现对微波信号的功率合成与分配，避免了传统Wilkinson功率分配器中隔离电阻的加工对微波性能的影响；

4)本发明中的微波相位检测模块应用两个T型结功率合成器，一个T型结功率分配器和两个间接加热式微波功率传感器实现0-360°的相位检测。

附图说明

图1为本发明固支梁T型结间接加热式微波信号检测器原理框图，