[发明专利]基于悬臂梁的在线式微波相位检测器及检测方法

权利要求书

1.一种基于悬臂梁的在线式微波相位检测器，其特征是在高阻硅衬底（1）上制作SiO₂层（25），在SiO₂层（25）上设有共面波导传输线、两个关于共面波导传输线的信号线（2）对称的悬臂梁结构1和悬臂梁结构2、功合器以及间接热电式微波功率传感器1和间接热电式微波功率传感器2，所述的共面波导传输线由共面波导传输线的信号线（2）和地线（3）构成，所述的悬臂梁结构1由悬臂梁1（4）和锚区1（5）构成，所述的悬臂梁结构2由悬臂梁2（6）和锚区2（7）构成，悬臂梁1（4）和悬臂梁2（6）与下方的共面波导传输线的信号线（2）之间设有绝缘介质层（8），悬臂梁结构1的锚区1（5）通过间接热电式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线（24）连接至间接热电式微波功率传感器1，悬臂梁结构2的锚区2（7）通过功合器的第一共面波导传输线的信号线（11）连接至功合器的一个输入端，另一个输入端由功合器的第二共面波导传输线的信号线（12）连接至参考信号的输入端口，功合器的输出端通过功合器的第三共面波导传输线的信号线（13）连接至间接热电式微波功率传感器2。

2.根据权利要求1所述的基于悬臂梁的在线式微波相位检测器，其特征是采用功合器进行功率合成，所述的功合器包括隔离电阻（9）、ACPS信号线（10）、第一共面波导传输线的信号线（11）、第二共面波导传输线的信号线（12）和第三共面波导传输线的信号线（13），其中第一共面波导传输线的信号线（11）和第二共面波导传输线的信号线（12）是功合器的两个输入端口连接线，第三共面波导传输线的信号线（13）是功合器的输出端口连接线，功合器的输入端口和输出端口之间通过ACPS信号线（10）连接，隔离电阻安置在第一共面波导传输线的信号线（11）和第二共面波导传输线的信号线（12）之间。

3.根据权利要求1所述的基于悬臂梁的在线式微波相位检测器，其特征是采用间接热电式微波功率传感器进行功率检查，所述的间接热电式微波功率传感器1包括共面波导传输线的信号线（24）、两个终端电阻1（18）、热电堆1和直流输出块1（17），热电堆1是由金属热偶臂1（14）和半导体热偶臂1（15）通过欧姆接触区1（16）级联组成；所述的间接热电式微波功率传感器2包括第三共面波导传输线的信号线（13）、两个终端电阻2（19）、热电堆2和直流输出块2（23），热电堆2是由金属热偶臂2（20）和半导体热偶臂2（21）通过欧姆接触区2（22）级联组成。